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申请/专利权人：清软微视(杭州)科技有限公司
申请日：2024-01-31
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118053781A
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;G03B15/03;G02B27/28;G02B7/04
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本发明公开了一种明场光源缺陷检测系统，明场光源缺陷检测系统包括物镜组件、镜头组件、明场照明组件、分光组件和偏振干涉组件，偏振干涉组件包括第一偏振片、诺马斯基棱镜、第二偏振片，第一偏振片设置在明场照明组件和分光组件之间的光路上，用于将明场光源的光束偏振为线偏振光，诺马斯基棱镜设置在分光组件和物镜组件之间的光路上，第二偏振片设置在镜头组件内，第二偏振片的偏振方向与第一偏振片的偏振方向垂直。根据本发明实施例的明场光源缺陷检测系统，通过设置第一偏振片、第二偏振片和诺马斯基棱镜，可以较好地获取到待检测物表面的3D凹凸感的图像信息，能够更好地提高对待检测物表面的检测精度。
主权项：1.一种明场光源缺陷检测系统，其特征在于，包括：物镜组件，用于获取待检测物在明场光源下的第一图像；镜头组件，用于对所述第一图像进行二次成像；明场照明组件和分光组件，所述明场照明组件用于发出所述明场光源，所述明场照明组件的光束经所述分光组件和所述物镜组件后出射至待检测物上以形成明场光路，所述分光组件能够将所述明场照明光路进行导向以使所述明场照明光路进入所述物镜组件，所述分光组件能够将所述第一图像的传输光路进行导向以使所述第一图像能够二次成像至所述镜头组件，其中，所述明场光源缺陷检测系统还包括：偏振干涉组件，所述偏振干涉组件包括：第一偏振片、诺马斯基棱镜、第二偏振片，所述第一偏振片设置在所述明场照明组件和所述分光组件之间的光路上，用于将所述明场光源的光束偏振为线偏振光，所述诺马斯基棱镜设置在所述分光组件和所述物镜组件之间的光路上，所述第二偏振片设置在所述镜头组件内，所述第二偏振片的偏振方向与所述第一偏振片的偏振方向垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清软微视(杭州)科技有限公司 明场光源缺陷检测系统
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