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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2019-05-20
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN111968925B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2020.12.08#实质审查的生效;2020.11.20#公开
摘要：本发明提供一种工件状态监测装置及方法，该装置包括：控制单元以及检测单元，其中，所述检测单元用于朝向腔室内的工件承载区域发射检测信号，并将接收到的反馈信号发送至所述控制单元；所述控制单元用于在机械手或者顶针上升过程中，记录所述反馈信号在每次发生高电平和低电平之间的转换时，所述机械手或者顶针的当前工位高度，并基于该当前工位高度判断所述待测工件的高度和或水平度是否满足取片条件。通过本发明，提高了半导体设备的可靠性与安全性。
主权项：1.一种工件状态监测装置，其特征在于，包括：控制单元以及检测单元，其中，所述检测单元用于朝向腔室内的工件承载区域发射检测信号，并将接收到的反馈信号发送至所述控制单元；所述控制单元用于在机械手或者顶针上升过程中，记录所述反馈信号在每次发生高电平和低电平之间的转换时，所述机械手或者顶针的当前工位高度，并基于该当前工位高度判断待测工件的高度和或水平度是否满足取片条件；其中，所述控制单元还用于在第一高度和第二高度之间的差值为所述待测工件的厚度值时，确定所述待测工件水平度满足取片条件；所述第一高度为所述反馈信号在发生第一次高电平和低电平之间的转换时所述机械手或者顶针对应的高度；所述第二高度为所述反馈信号在发生第二次高电平和低电平之间的转换时所述机械手或者顶针对应的高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 工件状态监测装置及方法、半导体设备
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