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【发明授权】薄膜压电材料元件及其制造方法、磁头折片组件、硬盘驱动器_新科实业有限公司_201910685669.1 

申请/专利权人:新科实业有限公司

申请日:2019-07-28

公开(公告)日:2024-05-17

公开(公告)号:CN110931630B

主分类号:H10N30/50

分类号:H10N30/50;H10N30/20;H10N30/08;H10N30/082;G11B5/31;G11B5/55

优先权:["20180919 US 16/136,243","20190704 US 16/503,494"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.05.17#授权;2021.07.16#实质审查的生效;2020.03.27#公开

摘要:一种薄膜压电材料元件,包括:层压结构部,其包括下电极膜、层压在下电极膜上的压电材料膜以及层压在压电材料膜上的上电极膜。压电材料膜包括:比上电极膜大的膜尺寸,以及形成在上电极膜侧的上表面上的竖端面和台阶面。竖端面与上电极膜的外围端面平滑相连并且与上表面垂直相交。台阶面与竖端面垂直相交。

主权项:1.一种用于硬盘驱动器的薄膜压电材料元件,包括:层压结构部,其包括下电极膜、层压在所述下电极膜上的压电材料膜,以及层压在所述压电材料膜上的上电极膜;其中,所述压电材料膜包括:比所述上电极膜大的膜尺寸;以及形成在所述上电极膜侧的上表面上的竖端面和台阶面,其中,所述竖端面与所述上电极膜的外围端面平滑相连并且与所述上表面垂直相交,其中,所述台阶面与所述竖端面垂直相交;所述的薄膜压电材料元件,进一步包括:由合金材料形成的下压电材料保护膜;以及由合金材料形成的上压电材料保护膜,其中,所述下压电材料保护膜和所述上压电材料保护膜形成为分别在所述下电极膜的下侧和所述上电极膜的上侧将所述层压结构部夹在中间,其中,所述上压电材料保护膜的外围端面与所述竖端面平滑相连。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 新科实业有限公司 薄膜压电材料元件及其制造方法、磁头折片组件、硬盘驱动器

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