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申请/专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日：2020-09-01
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN112030113B
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;H10K71/16;C23C14/12
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2020.12.22#实质审查的生效;2020.12.04#公开
摘要：本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。本发明采用面源蒸镀的方式，利用分散组件实现气体分子的均匀扩散，达到提高有机材料利用率的目的。
主权项：1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内；所述加热组件包括第一加热板和第二加热板；所述第二加热板与所述第一加热板相互交叉地连接，用于将所述容置腔分隔出多个加热空间；所述分散组件包括第一分散板和第二分散板；所述第一分散板和所述第二分散板由上至下依次装设于所述容置腔内；所述第一分散板与所述第二分散板间具有间距，用于在所述第一分散板、所述第二分散板和所述容置腔内壁间形成分散腔；所述第一分散板沿X轴方向开设有多个第一狭缝开口；所述第二分散板沿Y轴方向开设有多个第二狭缝开口；所述第一狭缝开口与所述第二狭缝开口相互垂直。
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