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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
申请日：2024-02-05
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN117711968B
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;H01L21/68;G01B11/00;G01B11/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开
摘要：本申请涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质，重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测系统、运动控制系统和计算分析系统；所述光学检测系统设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测系统用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析系统；所述运动控制系统用于控制光学检测系统的检测位置；所述计算分析系统用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。采用本申请可以计算得到被测物体的重复定位精度。
主权项：1.一种重复定位精度检测设备，其特征在于，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测系统、运动控制系统和计算分析系统；所述光学检测系统设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测系统用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析系统，其中，所述被测物体为扎针机构，所述扎针机构包括：反光板、针尖和驱动器；所述运动控制系统用于控制光学检测系统的检测位置；所述计算分析系统用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度；所述反光板与所述针尖的相对位置固定，所述反光板用于辅助所述光学检测系统进行所述针尖离焦点的所述目标距离的检测和收集；所述驱动器用于驱动所述扎针机构进行高频微距往复运动，以模拟实际连续测试的过程；在扎针机构进行高频微距往复运动的过程中，所述光学检测系统多次检测扎针机构与焦点之间的目标距离，所述计算分析系统根据目标距离生成目标距离的折线图，所述折线图反映出针尖在运动过程中距离焦点的距离变化，所述折线图中的波谷的范围波动即为所述扎针机构的重复定位精度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 重复定位精度检测设备、方法及存储介质
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