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申请/专利权人：天津华创芯微科技发展有限公司
申请日：2023-08-16
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220977137U
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/44
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本实用新型公开了一种密封性强的化学气相沉积进气装置，包括管体；单向密封机构，所述单向密封机构包括设置在管体下方的密封板，所述密封板的上端设置有连接块，所述管体的内壁上固定连接有横板，所述横板与连接块通过第一弹簧弹性连接；所述密封板的上端固定连接有密封环，所述密封环的上端与管体的下端接触。该装置在实际的使用过程中，利用单向密封结构，可有效的避免气体回流的情况出现，保证了管道的洁净性。
主权项：1.一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，包括：管体1；单向密封机构，所述单向密封机构包括设置在管体1下方的密封板4，所述密封板4的上端设置有连接块3，所述管体1的内壁上固定连接有横板2，所述横板2与连接块3通过第一弹簧5弹性连接；所述密封板4的上端固定连接有密封环6，所述密封环6的上端与管体1的下端接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津华创芯微科技发展有限公司 一种密封性强的化学气相沉积进气装置
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