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申请/专利权人：费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日：2023-04-14
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN220977121U
主分类号：C23C14/24
分类号：C23C14/24;C30B29/06;C23C14/06;C23C14/54;C30B23/02
优先权：["20221213 CN 2022116034252"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权
摘要：本公开提供了一种Si热束源及分子束外延系统，Si热束源包括：硅化物蒸镀源；坩埚，用于容纳硅化物蒸镀源；以及加热装置，与坩埚热耦合，用于加热坩埚，以使硅化物蒸镀源释放Si束流。分子束外延系统包括：处理真空腔，用于容纳样品；Si热束源，与处理真空腔连通，用于向样品发射Si束流。
主权项：1.一种Si热束源，其特征在于，包括：硅化物蒸镀源；坩埚，用于容纳所述硅化物蒸镀源；以及加热装置，与所述坩埚热耦合，用于加热所述坩埚，以使所述硅化物蒸镀源释放Si束流。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 费勉仪器科技(上海)有限公司 Si热束源及分子束外延系统
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