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申请/专利权人：盖列斯特有限公司
申请日：2021-10-28
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118043496A
主分类号：C23C16/40
分类号：C23C16/40;C23C16/56;C23C16/04;C07F7/22
优先权：["20210913 US 63/243,266"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：一种形成氟化氧化锡酸盐膜的方法，包括蒸发挥发性氟化烷基锡化合物，所述化合物具有至少两个对水解敏感的官能团或至少两个在大于200℃的温度下对氧化敏感的反应性官能团的；提供基材；将所述氟化烷基锡化合物物理吸附或化学吸附到所述基材上；和将物理吸附或化学吸附的氟化烷基锡化合物暴露于一系列水解、辐照和或氧化步骤，以在基材上形成氟化氧化锡酸盐薄膜。还描述了具有式I的氟化烷基锡化合物，其中Rf是具有约1至约5个碳原子的氟化或部分氟化的直链或支链烷基，X是具有约1至约4个碳原子的二烷基氨基基团，n是1或2：RfCH2nSnX4‑nI。
主权项：1.一种用于形成氟化氧化锡酸盐膜的方法，包括：蒸发挥发性氟化烷基锡化合物，所述化合物具有至少两个对水解敏感的官能团或至少两个在大于200℃的温度下对氧化敏感的反应性官能团；提供基材；将所述氟化烷基锡化合物物理吸附或化学吸附到所述基材上；和将物理吸附或化学吸附的氟化烷基锡化合物暴露于一系列水解和辐照步骤，随后进行氧化或第二次水解暴露，以在基材上形成氟化氧化锡酸盐薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盖列斯特有限公司 用于生产富含氧化锡酸盐的膜的方法和前体
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