申请/专利权人：新恒通(江苏)科技有限公司

申请日：2021-03-21

公开（公告）日：2024-05-14

公开（公告）号：CN112951747B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.14#授权;2021.07.02#实质审查的生效;2021.06.11#公开

摘要：本发明提供一种芯片毛边蚀刻机的组合器具，具有载片框、多块平行的长条形活动盖板、喷头；活动盖板的上方配套设置有两个间距一定距离的左、右喷头。每块活动盖板具有左侧段、中间段和右侧段，中间段的轴孔中插有一根转动轴，转动轴与载片框轴座连接；左侧段和右侧段的两外侧面相互垂直。本发明依靠活动夹具的特殊结构，有效保护芯片主体，喷头喷射的腐蚀性液体有效去除芯片边沿的毛刺，同时利用喷头喷射动力驱动活动盖板转动，减少了额外转动机构的设置。

主权项：1.一种芯片毛边蚀刻机的组合器具，具有设置了载片框、多根平行设置的长条形活动盖板，每块活动盖板上具有穿插着转轴的轴孔，转轴与载片框两侧设置的轴座形成转动连接；其特征在于：活动盖板为三段式结构，左侧段、中间段和右侧段，转动轴轴孔设置在中间段，中间段的下底面为穹形拱顶；左侧段和右侧段的两外侧侧面相互垂直；轴座上或附带有活动盖板的限位功能，保证活动盖板的转动角度不大于90°；活动盖板的上方，配套设置有两个水平间距一定距离的左、右喷头，左、右喷头分别通过控制线与控制器相连，左喷头喷射的射流的角度由控制器控制为采用向右下方喷射0°-60°的喷射角度，右喷头喷射的射流的角度由控制器控制为采用向左下方喷射-60°-0°的喷射角度；工作时，通过控制器控制左侧的喷头先行喷射清洗芯片的左边沿，同时喷射射流的压力使得活动盖板绕着转轴向右转动，使得左侧段的外侧面垂直于芯片，右侧段的外侧面与芯片平面平行，中间段覆盖在芯片上方；当左侧清洗完成后，左侧喷头停止喷射，右侧喷头开始喷射清洗芯片的右边沿，同时喷射射流的压力使得活动盖板绕着转轴向左转动，使得右侧段的外侧面垂直于芯片，左侧段的外侧面与芯片平面平行，中间段覆盖在芯片上方；或者，通过控制器控制右侧的喷头先行喷射清洗芯片的右边沿，同时喷射射流的压力使得活动盖板绕着转轴向左转动，使得右侧段的外侧面垂直于芯片，左侧段的外侧面与芯片平面平行，中间段覆盖在芯片上方；当右侧清洗完成后，右侧喷头停止喷射，左侧喷头开始喷射清洗芯片的左边沿，同时喷射射流的压力使得活动盖板绕着转轴向右转动，使得左侧段的外侧面垂直于芯片，右侧段的外侧面与芯片平面平行，中间段覆盖在芯片上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 新恒通(江苏)科技有限公司 芯片毛边蚀刻机的组合器具

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