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申请/专利权人：吉光半导体科技有限公司
申请日：2023-11-03
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN220962084U
主分类号：G02F1/153
分类号：G02F1/153;G02F1/01;G02F1/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.14#授权
摘要：本实用新型涉及光电子器件技术领域，特别涉及一种宽调谐滤波波导包括绝缘衬底，在绝缘衬底的顶部依次制备底部电极层和透明介质层，在透明介质层上制备光波导槽，在透明介质上垂直于光波导槽的方向制备有间隔排列的折射率调节层，通过折射率大于绝缘衬底的填平材料将折射率调节层与光波导槽填平形成填平层，在填平层上制备顶部电极层，折射率调节层为电致相变或电致变色材料，通过改变电致相变或电致变色材料的折射率，实现滤波波导反射谱或透射谱的宽调谐。本实用新型利用电致相变材料或电致变色材料，在电压或者电流控制下，其折射率的变化是普通的半导体器件或电光效应材料折射率变化的一千倍以上，因而具有调谐范围宽的特点。
主权项：1.一种宽调谐滤波波导，包括绝缘衬底，在所述绝缘衬底的顶部依次制备底部电极层和透明介质层，其特征在于，在所述透明介质层上制备光波导槽，在所述透明介质上垂直于所述光波导槽的方向制备有间隔排列的折射率调节层，通过折射率大于所述绝缘衬底的填平材料将所述折射率调节层与所述光波导槽填平形成填平层，在所述填平层上制备顶部电极层，所述折射率调节层为电致相变材料或电致变色材料，通过改变所述电致相变材料或电致变色材料的折射率，实现滤波波导反射谱或透射谱的宽调谐。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉光半导体科技有限公司 宽调谐滤波波导
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