申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737694A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/52;H01L31/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种镀膜装置。该镀膜装置包括主腔室、第一副腔室、第二副腔室和加热组件，主腔室相对的两外侧分别连通有第一副腔室和第二副腔室，第一副腔室和第二副腔室能被打开或与主腔室可拆卸设置；加热组件包括多个独立的热丝段，多个热丝段首尾相连,相邻的两个热丝段连接于第一副腔室或第二副腔室中。该镀膜装置能够提高加热组件的安装速度；降低镀膜装置结构的复杂性；提高主腔室镀膜的均匀性，避免同时替换整个加热组件的浪费。

主权项：1.镀膜装置，其特征在于，包括壳体和加热组件30；所述壳体设置有主腔室10、第一副腔室20和第二副腔室40，所述第一副腔室20位于所述主腔室10的第一侧，所述第二副腔室40位于所述主腔室10的与所述第一侧相背的第二侧；所述加热组件30包括多个独立的热丝段31，所述热丝段31设于所述主腔室10内，且穿设至所述第一副腔室20和所述第二副腔室40，多个所述热丝段31首尾相连，相邻的两个所述热丝段31的连接处位于所述第一副腔室20或所述第二副腔室40内；其中，所述第一副腔室20被配置为能够打开以露出所述连接处，或者所述第一副腔室20与所述主腔室10可拆卸连接；所述第二副腔室40被配置为能够打开以露出所述连接处，或者所述第二副腔室40与所述主腔室10可拆卸连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 镀膜装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD