申请/专利权人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
申请日:2023-12-19
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117737694A
主分类号:C23C16/44
分类号:C23C16/44;C23C16/52;H01L31/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本发明属于半导体技术领域,公开了一种镀膜装置。该镀膜装置包括主腔室、第一副腔室、第二副腔室和加热组件,主腔室相对的两外侧分别连通有第一副腔室和第二副腔室,第一副腔室和第二副腔室能被打开或与主腔室可拆卸设置;加热组件包括多个独立的热丝段,多个热丝段首尾相连,相邻的两个热丝段连接于第一副腔室或第二副腔室中。该镀膜装置能够提高加热组件的安装速度;降低镀膜装置结构的复杂性;提高主腔室镀膜的均匀性,避免同时替换整个加热组件的浪费。
主权项:1.镀膜装置,其特征在于,包括壳体和加热组件30;所述壳体设置有主腔室10、第一副腔室20和第二副腔室40,所述第一副腔室20位于所述主腔室10的第一侧,所述第二副腔室40位于所述主腔室10的与所述第一侧相背的第二侧;所述加热组件30包括多个独立的热丝段31,所述热丝段31设于所述主腔室10内,且穿设至所述第一副腔室20和所述第二副腔室40,多个所述热丝段31首尾相连,相邻的两个所述热丝段31的连接处位于所述第一副腔室20或所述第二副腔室40内;其中,所述第一副腔室20被配置为能够打开以露出所述连接处,或者所述第一副腔室20与所述主腔室10可拆卸连接;所述第二副腔室40被配置为能够打开以露出所述连接处,或者所述第二副腔室40与所述主腔室10可拆卸连接。
全文数据:
权利要求:
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