恭喜粤芯半导体技术股份有限公司彭雄获国家专利权
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龙图腾网恭喜粤芯半导体技术股份有限公司申请的专利前开放式晶圆盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219738928U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202320964841.9,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型前开放式晶圆盒是由彭雄;黄灿阳;田野设计研发完成,并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本前开放式晶圆盒在说明书摘要公布了:本申请提供一种前开放式晶圆盒,包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁,侧壁分别与顶壁以及底壁连接形成盒体,摄像结构设置于盒体内且靠近盒体的进出口,摄像结构位于底壁和顶壁中的至少一者,绝缘部覆盖摄像结构,绝缘部采用透明材质,摄像结构用于对进出前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描,以提高晶圆的检测效率。
本实用新型前开放式晶圆盒在权利要求书中公布了:1.一种前开放式晶圆盒,其特征在于,包括摄像结构、绝缘部、侧壁、底壁以及顶壁,所述侧壁分别与所述顶壁以及所述底壁连接形成盒体,所述摄像结构设置于所述盒体内且靠近所述盒体的进出口,所述摄像结构位于所述底壁和所述顶壁中的至少一者,所述绝缘部覆盖所述摄像结构,所述绝缘部采用透明材质制成,所述摄像结构用于对进出所述前开放式晶圆盒的晶圆进行扫描。
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