申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

申请日：2010-12-09

公开（公告）日：2011-04-13

公开（公告）号：CN102011090A

主分类号：C23C14/06(2006.01)I

分类号：C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I

优先权：

专利状态码：有效-专利实施许可合同备案的生效

法律状态：2023.10.20#专利实施许可合同备案的生效;2012.05.23#授权;2011.06.01#实质审查的生效;2011.04.13#公开

摘要：本发明公开了一种基体表面的TiAlNTiAlCN多层膜涂层及其制备方法，该基体与TiAlNTiAlCN多层膜涂层之间为过渡涂层，该多层膜涂层由TiAlN膜与TiAlCN膜交替层叠形成周期排列，在一个周期中，TiAlN膜与TiAlCN膜的厚度之和为1纳米～20纳米，TiAlCN膜中C原子的原子百分含量为0.1％～5％。本发明的多层膜涂层具有高硬度、低内应力以及高韧性，能够提高基体的切削效率与抗腐蚀性，延长基体的使用寿命。本发明通过高功率脉冲磁控溅射技术沉积该多层膜涂层，克服了阴极电弧离子镀沉积速率太快无法制备纳米外延膜，以及直流磁控溅射制备薄膜过程中发生靶中毒的问题，通过调节基体的自转和公转速率以及调节对靶的数量，达到控制纳米调制周期的目的。

主权项：一种基体表面的TiAlNTiAlCN多层膜涂层，基体与TiAlNTiAlCN多层膜涂层之间为过渡涂层，其特征是：所述的TiAlNTiAlCN多层膜涂层由TiAlN膜与TiAlCN膜交替层叠形成周期排列；所述的TiAlNTiAlCN多层膜涂层的一个周期中，TiAlN膜与TiAlCN膜的厚度之和为1纳米～20纳米；所述的TiAlCN膜中C原子的原子百分含量为0.1％～5％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法

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