申请/专利权人：太原理工大学

申请日：2022-03-30

公开（公告）日：2022-07-01

公开（公告）号：CN114686832A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.07.19#实质审查的生效;2022.07.01#公开

摘要：本发明公开了一种制备减摩耐磨TiAlNTiAlCN多层复合薄膜的方法，包括以下步骤：将预处理后的基体烘干，放置于磁控溅射与过滤阴极电弧复合的多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上；将真空室抽真空并通入氩气，采用离子源对基体表面进行溅射清洗；分别以高纯金属硅和铝作为射频和直流脉冲磁控溅射的溅射靶材，高纯钛和石墨片作为直流磁过滤和脉冲阴极电弧的蒸发靶材，通过调节金属靶溅射功率、石墨靶脉冲频率和脉冲数制备TiAlNTiAlCN多层复合薄膜。本发明制备的TiAlNTiAlCN多层复合薄膜元素含量可调、调制周期易控，具有高硬度、高结合强度、低摩擦系数和良好耐磨性能。

主权项：1.一种制备减摩耐磨TiAlNTiAlCN多层复合薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：将预处理后的基体烘干，放置于磁控溅射与过滤阴极电弧复合的多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上；将真空室抽真空并通入氩气，采用离子源对基体表面进行溅射清洗；分别以高纯硅和铝片作为射频和直流脉冲磁控溅射的溅射靶材，高纯钛和石墨片作为直流磁过滤和脉冲阴极电弧的蒸发靶材，通入氩气、氮气，根据化学成键能力及碳基非晶相形成规律设计薄膜结构，通过调节金属靶溅射功率、石墨靶脉冲频率和脉冲数，从而在基体表面制备减摩耐磨的TiAlNTiAlCN多层复合薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 太原理工大学 一种制备减摩耐磨TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD