申请/专利权人：东北大学;中国科学院金属研究所

申请日：2023-06-25

公开（公告）日：2023-09-19

公开（公告）号：CN116770227A

主分类号：C23C14/16

分类号：C23C14/16;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/32

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.10.10#实质审查的生效;2023.09.19#公开

摘要：本发明涉及一种高强韧低内应力厚TiNiTiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层及制备方法，属于防护涂层技术领域。该涂层以合金基体为衬底，采用多弧离子镀进行多靶共沉积技术制备，由内到外包括Ti粘结层、TiAlN过渡层和TiNiTiAlNiNXTiAlN功能层。TiNiTiAlNiNXTiAlN功能层是由层厚比r为1:1≤r≤1:5的TiNiTiAlNiNX低内应力强韧层和TiAlN高内应力硬质层依次循环叠加构成，TiNiTiAlNiNXTiAlN功能层总层数n在2≤n≤20范围内可调，且总层数n为偶数项。本发明制备的涂层总厚度为5～30μm，显微硬度为2000Hv以上。该涂层与基体结合性能优异，且涂层兼具高韧性、高硬度，低内应力、优良的抗裂纹扩展能力及抗高温氧化性能等特点，可适用于硬质合金切削刀具、以及不锈钢合金、钛合金、钛铝合金等材料的耐磨防护。

主权项：1.一种高强韧低内应力厚TiNiTiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层，其特征在于，以合金基体为衬底，TiNiTiAlNiNXTiAlN复合硬质涂层由内到外包括Ti粘结层、TiAlN过渡层和TiNiTiAlNiNXTiAlN功能层，TiNiTiAlNiNXTiAlN功能层是由层厚比r为1:1≤r≤1:5的TiNiTiAlNiNX低内应力强韧层和TiAlN高内应力硬质层依次循环叠加构成；TiNiTiAlNiNXTiAlN功能层总层数n在2≤n≤20范围内可调，且总层数n为偶数项。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东北大学;中国科学院金属研究所 高强韧低内应力厚TiNi＆TiAl(Ni)N_X/TiAlN复合硬质涂层及制备方法

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