申请/专利权人：北京中科信电子装备有限公司

申请日：2017-04-25

公开（公告）日：2018-11-02

公开（公告）号：CN108732406A

主分类号：G01R19/00(2006.01)I

分类号：G01R19/00(2006.01)I

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2020.11.13#发明专利申请公布后的视为撤回;2018.11.02#公开

摘要：本发明公开了一种PFG Emission Current检测电路，属于半导体制造领域。PFG Emission Current检测电路包括：电路供电单元1、信号转换单元2、信号处理单元3。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元1将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元2将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元3放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍或不放大再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。

主权项：1.一种PFG Emission Current检测电路，主要包括：电路供电单元1、信号转换单元2、信号处理单元3。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元1将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元2将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元3放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍或不放大再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。

全文数据：_种PFGEmissionCurrent检测电路技术领域[0001]本发明涉及离子注入机PFGEmissionCurrent的检测，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。背景技术[0002]离子注入机中PFG位于靶限束光栏之后及靶台之前。PFG实际上是一个直接加热式离子源，只不过没有引出电压，PFG里的等离子体中的电子是通过光路中带正电荷的离子束的吸引，并随离子束一起飞向晶片中和掉晶片上的正电荷，使晶片更容易接受需要注入的正离子。[0003]本发明提供了一种PFGEmissionCurrent检测电路，该电路可以实现对PFG中电子被离子束吸引所产生的电子流的采集及处理，并送到控制器，由控制器计算出反馈值，从而达到测量进入晶片的电子量。该电路实现方便，集成度高，稳定性很高，实践表明该电路对PFGEmissionCurrent的检测效果良好。发明内容[0004]本发明涉及一种PFGEmissionCurrent检测电路。该发明应用于离子注入机，该电路适用于注入过程中对PFGEmissionCurrent的检测。[0005]本发明通过以下技术方案实现：[0006]PFGEmissionCurrent检测电路基本框图如图1所示，它包括三个主要功能单元：电路供电单元1、信号转换单元2和信号处理单元3。各功能单元的实现电路及作用如下：[0007]电路供电单元（1:电源模块为24V直流输入转化为两路15V直流输出，由于所选芯片供电要求为±15V直流，因此将其中一路输出的正端与另一路输出的负端短接并接入大地，以此来达到输出为±15V直流的目的。电源的输入端和输出端都加入一发光二极管及其保护电阻，使供电单元的状态显示一目了然；同时电源的输入端和输出端也都加入LC滤波电路，由此达到隔离电源噪声的作用，使得电源模块的干扰减小，并使电路更加稳定。[0008]信号转换单元2:该单元是将BNC连接器检测到的电流信号经一10欧姆的功率电阻转化为方便处理的电压信号。[0009]信号处理单元3:该单元将转化成的电压信号经仪表放大器及运算放大器将转化的信号放大数倍，然后将信号输出至控制器，由控制器计算并于工控机显示出来。[0010]将三个单元模块串联后得到总的实现电路如图2所示。[0011]本发明具有如下显著优点：[0012]1、结构简单、可靠性好:仅由三个集成芯片实现PFGEmissionCurrent检测，提高了电路的抗干扰能力，方便了电路的实现。[0013]2、响应及时:该方案全部由硬件电路实现，响应延时极小。附图说明[0014]下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。[0015]图1是PFGEmissionCurrent检测电路结构框图。[0016]图2是PFGEmissionCurrent检测电路。具体实施方式[0017]下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为本发明的限定。[0018]如图1、图2,一种PFGEmissionCurrent检测电路，电源模块将24V电压转化为土15V电压之后给放大器芯片供电；电路通过BNC连接器与PFG弧室连接，当电路检测到电流信号之后，先由10欧姆功率电阻使该电流信号转化为电压信号；电压信号进入精密仪表放大器，输入接在放大器同相输入端，通过外接电阻R5来控制放大器的放大倍数，此处外接5.49K电阻为将信号同相放大10倍;仪表放大器的输出信号为运算放大器其中一路的同相输入端的输入，由反相端电阻控制放大倍数，此处外接4•99K及20K电阻将信号同向放大5倍，当信号过大时，可以选择将JP1跳线方式改为2和3短接;运算放大器另一路用做电压跟随器，用来做运算放大器第一路放大器输出的高阻抗及控制器输入的低阻抗之间的缓冲，减少信号在传输过程中的损耗；电压跟随器的输出进入控制器，并由控制器计算并显示出来。[0019]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

权利要求：1.一种PFGEmissionCurrent检测电路，主要包括：电路供电单元（1、信号转换单元2、信号处理单元3。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元1将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元2将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理;信号需要由信号处理单元⑶放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍或不放大再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。2.如权利要求1所述的一种PFGEmissionCurrent检测电路，其特征在于，PFGEmissionCurrent的检测是电流信号，需将其转换为电压信号在对其进行处理，转换过程是使用一10欧姆功率电阻转化。3.如权利要求1所述的一种PFGEmissionCurrent检测电路，其特征在于，该电路经仪表放大器放大之后可由运算放大器再放大5倍或不放大再由电压跟随器输出，此选项只需改变跳线方式即可实现。

百度查询： 北京中科信电子装备有限公司 一种PFG Emission Current检测电路

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