申请/专利权人：格雷姆格拉斯网络公司

申请日：2007-11-13

公开（公告）日：2012-05-16

公开（公告）号：CN101606096B

主分类号：G02B26/00(2006.01)I

分类号：G02B26/00(2006.01)I;H01L27/00(2006.01)I

优先权：["2006.11.14 US 11/559,825"]

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2021.10.26#未缴年费专利权终止;2012.05.16#授权;2010.02.10#实质审查的生效;2009.12.16#公开

摘要：一种基于MEMS的镜子，在相邻的电极之间设置有沟槽，以能够承受相对高的施加电压，从而基本上减少暴露于不受控制的表面电位。因而基于MEMS的镜子避免了电压漂移并具有改进的镜子定位稳定性。沟槽的尺寸被选择为使得在每对相邻的电极之间的施加电压保持在预定的限度内。绝缘层例如，二氧化硅将每对相邻的电极电隔离。每个绝缘层部分地在相关的沟槽上方延伸，并且由相同的高度和宽度尺寸表现其特征。

主权项：一种静电控制微电子机械系统装置，包括：第一电极和第二电极，形成于衬底中；沟槽，被设置在所述第一电极与所述第二电极之间；绝缘层，形成于所述第一电极与所述第二电极之间；所述绝缘层从所述沟槽的底面突出，其中，所述沟槽的高度大于所述沟槽的宽度。

全文数据：

权利要求：

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