【发明公布】正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法_新应材股份有限公司_201811067508.8 

申请/专利权人:新应材股份有限公司

申请日:2018-09-13

发明/设计人:张庭玮;鍾明哲

公开(公告)日:2020-03-20

代理机构:北京律诚同业知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN110895382A

代理人:梁挥;鲍俊萍

主分类号:G03F7/039(20060101)

地址:中国台湾桃园市

分类号:G03F7/039(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/42(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.03.20#公开

摘要:本发明提供一种正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法,正型光阻组成物包括甲酚型酚醛树脂、重氮萘醌类感光剂以及有机溶剂;以100重量份的该甲酚型酚醛树脂为基准,该重氮萘醌类感光剂的用量为40重量份至60重量份,该甲酚型酚醛树脂中游离甲酚的含量低于2重量百分比,且该甲酚型酚醛树脂以3.5重量百分比至7重量百分比的四甲基氢氧化铵水溶液溶解的碱性溶解速率低于285埃秒。本发明的正型光阻组成物对聚酰亚胺剥除剂具有优异的耐化学性,能具体提升光阻层对低介电性的聚酰亚胺层的保护能力,从而优化图案化聚酰亚胺层的工艺与品质。

主权项:1.一种正型光阻组成物,其特征在于,该正型光阻组成物包括甲酚型酚醛树脂、重氮萘醌类感光剂以及有机溶剂;以100重量份的该甲酚型酚醛树脂为基准,该重氮萘醌类感光剂的用量为40重量份至60重量份,该甲酚型酚醛树脂中游离甲酚的含量低于2重量百分比,且该甲酚型酚醛树脂以3.5重量百分比至7重量百分比的四甲基氢氧化铵水溶液溶解的碱性溶解速率低于285埃秒。

全文数据:

权利要求:

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