申请/专利权人：新应材股份有限公司

申请日：2018-09-13

公开（公告）日：2020-03-20

公开（公告）号：CN110895382A

主分类号：G03F7/039(20060101)

分类号：G03F7/039(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/42(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.31#授权;2020.04.14#实质审查的生效;2020.03.20#公开

摘要：本发明提供一种正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法，正型光阻组成物包括甲酚型酚醛树脂、重氮萘醌类感光剂以及有机溶剂；以100重量份的该甲酚型酚醛树脂为基准，该重氮萘醌类感光剂的用量为40重量份至60重量份，该甲酚型酚醛树脂中游离甲酚的含量低于2重量百分比，且该甲酚型酚醛树脂以3.5重量百分比至7重量百分比的四甲基氢氧化铵水溶液溶解的碱性溶解速率低于285埃秒。本发明的正型光阻组成物对聚酰亚胺剥除剂具有优异的耐化学性，能具体提升光阻层对低介电性的聚酰亚胺层的保护能力，从而优化图案化聚酰亚胺层的工艺与品质。

主权项：1.一种正型光阻组成物，其特征在于，该正型光阻组成物包括甲酚型酚醛树脂、重氮萘醌类感光剂以及有机溶剂；以100重量份的该甲酚型酚醛树脂为基准，该重氮萘醌类感光剂的用量为40重量份至60重量份，该甲酚型酚醛树脂中游离甲酚的含量低于2重量百分比，且该甲酚型酚醛树脂以3.5重量百分比至7重量百分比的四甲基氢氧化铵水溶液溶解的碱性溶解速率低于285埃秒。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 新应材股份有限公司 正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法

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