申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-01-13

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111438085A

主分类号：B08B1/00(20060101)

分类号：B08B1/00(20060101);B08B1/02(20060101);B08B3/02(20060101);B24B7/04(20060101);B24B7/22(20060101);H01L21/304(20060101)

优先权：["20190117 JP 2019-005888"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.18#授权;2022.01.04#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：提供清洗机构，其对板状工件的下表面进行清洗，该清洗机构不利用附着有灰尘的刷对板状工件的下表面进行清洗。该清洗机构8对保持单元14所保持的板状工件W的下表面Wa进行清洗，该清洗机构具有：桶80，其由底板800和侧板801形成为凹形状；提供口81，其形成于底板的中央，向桶内提供水；以及刷83，其使中心与底板的中心一致而配设于桶内，刷83的作为毛尖的上表面83a处于比侧板801的上端面801a高规定的距离的位置，因积存于桶80内的水的表面张力而比侧板801的上端面801a隆起的水面将刷83覆盖，水在所浸没的作为刷83的毛尖的上表面83a流动，对刷83的毛尖进行清洗。

主权项：1.一种清洗机构，其对保持单元所保持的板状工件的下表面进行清洗，其中，该清洗机构具有：桶，其由底板和侧板形成为凹形状；提供口，其形成于该底板的中央，向该桶内提供水；以及刷，其使中心与该底板的中心一致而配设于该桶内，该刷的作为毛尖的上表面处于比该侧板的上端面高规定的距离的位置，因积存于该桶内的水的表面张力而比该侧板的上端面隆起的水面将该刷覆盖，水在所浸没的该刷的上表面流动而对该刷的毛尖进行清洗。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 清洗机构

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