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【发明授权】蒸汽涡轮阀驱动装置_株式会社东芝;东芝能源系统株式会社_201810088312.0 

申请/专利权人:株式会社东芝;东芝能源系统株式会社

申请日:2018-01-30

公开(公告)日:2020-09-15

公开(公告)号:CN108374696B

主分类号:F01D21/18(20060101)

分类号:F01D21/18(20060101)

优先权:["20170131 JP 2017-015467"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.09.15#授权;2018.08.31#实质审查的生效;2018.08.07#公开

摘要:本发明提供一种能够容易地实现小型化以及省电化的蒸汽涡轮阀驱动装置。实施方式的蒸汽涡轮阀驱动装置具有活塞、缸体、双向泵、伺服电动机以及紧急关闭机构。活塞设于操作杆,该操作杆对流向蒸汽涡轮的蒸汽的流路上设置的蒸汽阀部进行操作。缸体将活塞收容于内部空间,内部空间被活塞划分为第一液压室与第二液压室。双向泵通过向第一液压室供给工作油而执行蒸汽阀部的开动作,并且通过向第二液压室供给工作油而执行蒸汽阀部的闭动作。伺服电动机驱动双向泵。紧急关闭机构执行比闭动作更迅速地关闭蒸汽阀部的紧急关闭动作。这里,紧急关闭机构将储能器所储存的工作油向第二液压室供给,并从第一液压室排出工作油,从而执行紧急关闭动作。

主权项:1.一种蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具备:活塞,设于操作杆,该操作杆对流向蒸汽涡轮的蒸汽的流路上设置的蒸汽阀部进行操作;缸体,将上述活塞收容于内部空间,上述内部空间被上述活塞划分为第一液压室与第二液压室;双向泵,通过向上述第一液压室供给工作油而执行上述蒸汽阀部的开动作,并且通过向上述第二液压室供给工作油而执行上述蒸汽阀部的闭动作;伺服电动机,对上述双向泵进行驱动;第一截断用电磁阀,上述第一截断用电磁阀设置于第一开度控制用油路,上述第一开度控制用油路设置在上述双向泵与上述第一液压室之间;以及第二截断用电磁阀,上述第二截断用电磁阀设置于第二开度控制用油路,上述第二开度控制用油路设置在上述双向泵与上述第二液压室之间,上述蒸汽涡轮阀驱动装置具有紧急关闭机构,该紧急关闭机构执行比上述闭动作更迅速地关闭上述蒸汽阀部的紧急关闭动作,上述紧急关闭机构包含:第一阻尼阀,设置于与上述第一液压室连接的第一紧急关闭用油路;第二阻尼阀,设置于与上述第二液压室连接的第二紧急关闭用油路;以及紧急关闭用电磁阀,构成为通过从励磁状态改变为无励磁状态,从而将上述第一阻尼阀以及上述第二阻尼阀从关闭的状态改变为打开的状态,在上述紧急关闭机构执行上述紧急关闭动作时,通过使上述第一截断用电磁阀从励磁状态成为无励磁状态,从而将上述第一开度控制用油路截断,并且,通过使上述第二截断用电磁阀从励磁状态成为无励磁状态,从而将上述第二开度控制用油路截断,并且,上述紧急关闭用电磁阀改变为无励磁状态,上述第一阻尼阀以及上述第二阻尼阀打开,从而在储能器中储存的工作油经由上述第二阻尼阀向上述第二液压室流入,并且工作油从上述第一液压室经由上述第一阻尼阀向储存器流出。

全文数据:蒸汽涡轮阀驱动装置[0001]关联申请的参照[0002]该申请基于2017年1月31日提出申请的日本申请特愿2017—15467的优先权利益。由此主张其优先权的利益。上述日本申请的全部内容作为参照文献而引入于此。技术领域[0003]本发明的实施方式涉及蒸汽涡轮阀驱动装置。背景技术[0004]—般来说,在蒸汽涡轮发电设备中,为了进行蒸汽涡轮的转速以及输出的调整,由蒸汽涡轮阀驱动装置控制蒸汽阀的开度,并控制向蒸汽涡轮流入的蒸汽的流入量。[0005]蒸汽涡轮阀驱动装置包含供工作油流动的液压系统,进行工作油的供给或者排出。由此,在蒸汽涡轮阀驱动装置中,收容于缸体的内部的活塞驱动,蒸汽阀的动作被控制。[0006]在蒸汽涡轮发电设备中产生异常时,为了保护构成蒸汽涡轮发电设备的机器,通过进行迅速关闭蒸汽阀的紧急关闭动作,截断蒸汽流向蒸汽涡轮的蒸汽流路,使蒸汽涡轮停止。[0007]作为蒸汽涡轮阀驱动装置,例如提出了如下方案:在缸体的上部油室与下部油室之间设置双向栗,并利用伺服电动机控制双向泵的转速,从而控制蒸汽阀的开度。在这种情况下中,例如利用自封闭弹簧的弹簧力来进行蒸汽阀的紧急关闭动作。因此,在进行打开蒸汽阀的动作时,伺服电动机需要用于克服流经蒸汽阀的蒸汽的蒸汽力与自封闭弹簧的弹簧力这两者的扭矩。其结果,伺服电动机的容量变大。[0008]由于上述这种情况,蒸汽涡轮阀驱动装置有时难以实现小型化以及省电化。发明内容[0009]因此,本发明将要解决的课题在于,提供一种能够容易地实现小型化以及省电化的蒸汽涡轮阀驱动装置。[0010]本发明的蒸汽涡轮阀驱动装置的特征在于,具备:活塞,设于操作杆,该操作杆对流向蒸汽涡轮的蒸汽的流路上设置的蒸汽阀部进行操作;缸体,将上述活塞收容于内部空间,上述内部空间被上述活塞划分为第一液压室与第二液压室;双向栗,通过向上述第一液压室供给工作油而执行上述蒸汽阀部的开动作,并且通过向上述第二液压室供给工作油而执行上述蒸汽阀部的闭动作;以及伺服电动机,对上述双向泵进行驱动,上述蒸汽涡轮阀驱动装置具有紧急关闭机构,该紧急关闭机构执行比上述闭动作更迅速地关闭上述蒸汽阀部的紧急关闭动作,上述紧急关闭机构将储能器所储存的工作油向上述第二液压室供给,并从上述第一液压室排出工作油,从而执行上述紧急关闭动作。附图说明[0011]图1是示意性地表示第一实施方式的蒸汽涡轮发电设备中的、蒸汽阀部以及蒸汽涡轮阀驱动装置的主要部分的图。[0012]图2是示意性地表示在第一实施方式的蒸汽涡轮发电设备中对于蒸汽阀部进行紧急关闭动作的情况下的情形的图。[0013]图3是示意性地表示在第一实施方式的蒸汽涡轮发电设备中进行对蒸汽阀部执行的紧急关闭动作的解除时的情形的图。[0014]图4是示意性地表示在第一实施方式的蒸汽涡轮发电设备中进行向储能器522供给工作油的供油动作时的情形的图。[0015]图5是示意性地表示第二实施方式的蒸汽涡轮发电设备的主要部分的图。[0016]图6是示意性地表示第三实施方式的蒸汽涡轮发电设备的主要部分的图。[0017]图7是示意性地表示第四实施方式的蒸汽涡轮发电设备的主要部分的图。[0018]图S是示意性地表示第五实施方式的蒸汽涡轮发电设备的主要部分的图。具体实施方式[0019]实施方式的蒸汽涡轮阀驱动装置具备活塞、缸体、双向泵以及伺服电动机,并且具有紧急关闭机构。活塞设于操作杆,该操作杆对流向蒸汽涡轮的蒸汽的流路上设置的蒸汽阀部进行操作。缸体将活塞收容于内部空间,内部空间被活塞划分为第一液压室与第二液压室。双向栗通过向第一液压室供给工作油而执行蒸汽阀部的开动作,并且通过向第二液压室供给工作油而执行蒸汽阀部的闭动作。伺服电动机驱动双向泵。紧急关闭机构执行比闭动作更迅速地关闭蒸汽阀部的紧急关闭动作。这里,紧急关闭机构将储能器所储存的工作油向第二液压室供给,并从第一液压室排出工作油,从而执行紧急关闭动作。[0020][0021]关于本实施方式中的、构成蒸汽涡轮发电设备的蒸汽阀部10以及蒸汽涡轮阀驱动装置20的主要部分,使用图1进行说明。在图1中,关于蒸汽阀部10中的一部分,示出了沿着铅垂方向z的铅垂面xz面的剖面。图1中示出了蒸汽涡轮阀驱动装置20对于蒸汽阀部10进行通常的开闭动作的情况下的情形。这里,用粗实线的箭头一并标注出执行通常的开动作时的工作油的情形,用粗虚线的箭头一并标注出执行通常的闭动作时的工作油的情形。[0022]如图1所示,在本实施方式的蒸汽涡轮发电设备中构成为,蒸汽阀部10由蒸汽涡轮阀驱动装置20驱动,从而控制从锅炉省略图示)向蒸汽涡轮省略图示作为工作介质被供给的蒸汽的流动。关于各部的详细情况,依次进行说明。[0023]蒸汽阀部10是蒸汽阀主体,如图1所示,阀轴14利用蒸汽涡轮阀驱动装置20移动,由此,在阀壳部11的内部,阀座13与阀芯15之间的开度变动。蒸汽阀部10设置于流向蒸汽涡轮的蒸汽的流路,例如在蒸汽涡轮的起动时为了控制蒸汽流量而被控制开度。[0024]蒸汽阀部10中的阀壳部11形成有供蒸汽F11向内部流入的蒸汽入口11A以及供蒸汽F12向外部流出的蒸汽出口11B。阀座13固定于阀壳部11的内部。阀座13包含在蒸汽阀部1〇关闭时供阀芯15接触的部分。[0025]阀轴14是棒状体,被设置为贯通形成于阀壳部11的下部的贯通孔。阀壳部11的贯通孔设置有管状的衬套14B,阀轴14经由衬套14B贯通阀壳部11的贯通孔中。阀轴14被设为轴沿着铅垂方向z,且在该轴所沿着的铅垂方向z上移动。[0026]阀芯I5收容于阀壳部11的内部。阀芯15连结于阀轴14的一端在图1中是上端),与阀轴14一起在铅垂方向2上移动。阀芯15在蒸汽阀部10打开时向上方第一方向)移动而离开阀座13。与此相对,在蒸汽阀部10关闭时,阀芯15向下方第二方向)移动。并且,通过阀芯15接触阀座13而使蒸汽阀部10成为全部关闭的状态。[0027]蒸汽涡轮阀驱动装置20被设置为用于使蒸汽阀部10动作。蒸汽涡轮阀驱动装置20通过用液压回路部50驱动液压驱动部30,使蒸汽阀部10动作。在蒸汽涡轮阀驱动装置20中,由控制装置70控制液压回路部50的动作,从而控制液压驱动部30的动作。[0028]在蒸汽涡轮阀驱动装置20中,液压驱动部30是液压驱动装置,如图1所示,在铅垂方向z上设置于蒸汽阀部10的下方。液压驱动部30在操作蒸汽阀部10的操作杆31上设有活塞35,该活塞35收容于缸体32。液压驱动部30构成为,在缸体32的内部,活塞35通过工作油的作用而驱动,从而操作杆31操作蒸汽阀部10。[0029]液压驱动部30中的操作杆31为棒状体,且轴沿着铅垂方向z。操作杆31与阀轴14的轴为同轴,一端上端连结于阀轴14。操作杆31的另一端下端)设有开度检测器38。而且,操作杆31在中央部分设有活塞35。[0030]在液压驱动部30中的缸体32的内部空间C32收容有活塞35。缸体32的内部空间C32被活塞35划分为第一液压室C32a与第二液压室C32b。另外,缸体32上形成有第一工作油端口P32a、第二工作油端口P32b、第三工作油端口P32c以及第四工作油端口P32d。[0031]第一液压室C32a为下部液压室,在缸体32的内部空间C32中位于活塞35的下方。在第一液压室C32a设有第一工作油端口P32a以及第三工作油端口P32c。第一工作油端口P32a连接有油路L1第一开度控制用油路),第三工作油端口P32c连接有油路L3第一紧急关闭用油路)。[0032]第二液压室C32b为上部液压室,在缸体32的内部空间C32中位于活塞35的上方。第二液压室C32b设有第二工作油端口P32b以及第四工作油端口P32d。第二工作油端口P32b连接有油路L2第二开度控制用油路),第四工作油端口P32d连接有油路L4第二紧急关闭用油路。[0033]液压驱动部30中的活塞35构成为,在缸体32的内部空间C32中通过工作油的作用而沿铅垂方向z滑动。具体而言,在打开蒸汽阀部10的情况下,活塞35被液压回路部50控制为,在作用于蒸汽阀部10的蒸汽力的影响下在铅垂方向z上向上方移动。在该情况下,在液压回路部50中,第一液压室C32a被供给工作油,从第二液压室C32b排出工作油,从而活塞35向上方移动。在关闭蒸汽阀部10的情况下,活塞35被液压回路部50控制为,在作用于蒸汽阀部10的蒸汽力的影响下在铅垂方向z上向下方移动。在该情况下,在液压回路部50中,第二液压室C32b被供给工作油,从第一液压室C32a排出工作油,从而活塞35向下方移动。而且,在使蒸汽阀部10的开度保持时,进行第一液压室C32a的压力与第二液压室C32b的压力的调整,以使活塞35在作用于蒸汽阀部10的蒸汽力的影响下成为沿铅垂方向z在同一位置停止的状态。[0034]在蒸汽涡轮阀驱动装置20中,液压回路部50经由多个油路L1〜L12连接有构成液压回路部50的各部。详细情况后述,液压回路部50构成为,使用双向泵51、伺服电动机512、旋转变压器resolver513以及伺服驱动器514等,对蒸汽阀部10进行通常的开闭动作。另外,液压回路部50构成为,使用由第一阻尼阀V52a、第二阻尼阀V52b以及紧急关闭用电磁阀V524构成的紧急关闭机构52,对蒸汽阀部10进行紧急关闭动作。[0035]液压回路部50中的双向泵51构成为,通过对第一液压室C32a供绐工作油而对蒸汽阀部10执行通常的开动作,并且通过对第二液压室C3%供给工作油而对蒸汽阀部1〇执行通常的闭动作。[0036]具体而言,双向栗51构成为,具有第一栗端口P51a与第二泵端口P51b,对第一泵端口P51a以及第二泵端口P51b分别排出工作油。在双向栗51中,第一栗端口P51a经由油路L1连接于缸体32的第一工作油端口P32a。与此相对,双向栗51的第二菜端口P51b经由油路L2连接于缸体32的第二工作油端口P32b。双向栗51例如是可逆转型泵,驱动轴向正方向和反方向分别旋转,从而从第一泵端口P51a或者第二泵端口P51b排出工作油。双向栗51通过从第一栗端口P51a排出工作油而经由油路L1向第一液压室C32a供给工作油,通过从第二栗端口P51b排出工作油而经由油路L2向第二液压室C32b供给工作油。除此以外,双向泵51构成为,在双向栗51中泄漏的工作油经由泄漏管线LL向储存器560流出。[0037]液压回路部50中的伺服电动机512的驱动轴连结于双向栗51。伺服电动机512通过改变驱动轴的旋转方向,从而改变双向栗51排出工作油的方向。并且,伺服电动机512构成为,通过改变驱动轴的旋转速度,从而改变双向泵51排出工作油的量。[0038]液压回路部50中的旋转变压器513为旋转速度检测器,将通过检测伺服电动机512的转速而得的数据作为检测信号加以输出。_[0039]液压回路部50中的伺服驱动器514被从旋转变压器513输入实际转速数据作为检测信号。除此之外,伺服驱动器514被从控制装置70输入转速指令作为控制信号。伺服驱动器514基于从旋转变压器513输入的实际转速数据以及从控制装置70输入的转速指令,驱动伺服电动机512。这里,伺服驱动器514以使伺服电动机512的转速成为与转速指令对应的转速的方式,控制伺服电动机512的动作。也就是说,在蒸汽阀部10中,进行反馈控制,以使预先设定的请求开度与开度检测器38对蒸汽阀部10检测出的开度一致。[0040]在液压回路部50中,油路L1第一开度控制用油路的一端右端连接于双向栗51的第一泉端口P51a,另一端(左端连接于缸体32的第一工作油端口P32a。油路L1上从缸体32侧朝向双向泵51侧依次设有分支部J1、分支部J2以及分支部J3。另外,在油路L1中,第一截断用电磁阀V53a配置于缸体32与分支部J1之间。[0041]第一截断用电磁阀V53a基于从控制装置70输出的控制信号而动作。这里,在对蒸汽阀部10进行通常的开闭动作时,第一截断用电磁阀V53a为励磁状态,并设为打开了油路L1的状态。也就是说,在通常时,成为工作油流经第一液压室C32a与双向泵51之间的状态。与此相对,在对蒸汽阀部1〇进行紧急关闭动作时,第一截断用电磁阀V53a成为无励磁状态,并设为关闭了油路L1的状态。也就是说,在异常时,在第一液压室C32a与双向栗51之间截断工作油的流动。[0042]在液压回路部50中,油路L2第二开度控制用油路的一端右端连接于双向栗51的第二泵端口P5lb,另一端(左端连接缸体32的第二工作油端口P32b。油路L2上从缸体32侧朝向双向泵51侧依次设有分支部J4、分支部J5以及分支部J6。另外,在油路L2中,将第二截断用电磁阀V53b配置于缸体32与分支部J4之间。[0043]第二截断用电磁阀V53b基于从控制装置70输出的控制信号而动作。这里,在对蒸汽阀部10进行通常的开闭动作时,第二截断用电磁阀V53b为励磁状态,并设为打开了油路L2的状态。也就是说,在通常时,成为工作油流经第二液压室C32b与双向栗51之间的状态。与此相对,在对于蒸汽阀部10进行紧急关闭动作时,第二截断用电磁阀V53b成为无励磁状态,并设为关闭了油路L2的状态。也就是说,在异常时,在第二液压室C32b与双向栗51之间截断工作油的流动。[0044]在液压回路部50中,在油路L1的分支部J1与油路L2的分支部J4分别连接有油路L9第一单向阀设置油路)。油路L9被设为以第一单向阀V54a与第二单向阀V54b夹着分支部J8〇[0045]第一单向阀V54a配置于油路L9的分支部J8与油路L1的分支部J1之间。第一单向阀V54a被配置为,从油路L1的分支部J1朝向油路L9的分支部J8流动工作油,但从油路L9的分支部J8朝向油路L1的分支部J1不流动工作油。[0046]第二单向阀V54b配置于油路L9的分支部J8与油路L2的分支部J4之间。第二单向阀V54b被配置为,从油路L2的分支部J4朝向油路L9的分支部J8流动工作油,但从油路L9的分支部J8朝向油路L2的分支部J4不流动工作油。[0047]在液压回路部50中,在油路L1的分支部J2与油路L2的分支部J5分别连接有油路L10第二单向阀设置油路)。油路L10被设为以第三单向阀V55a与第四单向阀V55b夹着分支部J9。_[0048]第三单向阀V55a配置于油路L10的分支部J9与油路L1的分支部J2之间。第三单向阀V55a被配置为,从油路L1的分支部J2朝向油路L10的分支部J9流动工作油,但从油路L10的分支部J9朝向油路L1的分支部J2不流动工作油。[0049]第四单向阀V55b配置于油路L10的分支部J9与油路L2的分支部J5之间。第四单向阀V55b被配置为,从油路L2的分支部J5朝向油路L10的分支部J9流动工作油,但从油路L10的分支部J9朝向油路L2的分支部J5不流动工作油。[0050]在液压回路部50中,在油路L1的分支部J3与油路L2的分支部J6分别连接有油路L11液控单向阀设置油路)。油路L11被设为以第一液控单向阀V56a与第二液控单向阀V56b夹着分支部J10。[0051]第一液控单向阀V56a配置于油路L11的分支部J10与油路L1的分支部J3之间。第一液控单向阀V56a构成为,先导端口与连通油路L2的部分连接,根据施加于先导端口的液压产生工作油的逆流。这里,双向栗51经由油路L2向第二液压室CMb供给工作油,从而向第一液控单向阀V56a的先导端口施加了液压时,在第一液控单向阀V56a中允许逆自由流动。也就是说,在第一液控单向阀V56a中,工作油从油路L1的分支部J3侧朝向油路L11的分支部J10逆流。与此相对,在双向泵51未经由油路L2向第二液压室C32b供给工作油的情况下,在第一液控单向阀V56a中,工作油从油路L11的分支部J10朝向油路L1的分支部J3侧流动。[0052]第二液控单向阀V56b配置于油路L11的分支部J10与油路L2的分支部J6之间。第二液控单向阀V56b构成为,先导端口与连通油路L1的部分连接,根据施加于先导端口的液压产生工作油的逆流。这里,双向栗51经由油路L1向第一液压室C32a供给工作油,从而向第二液控单向阀V56b的先导端口施加了液压时,在第二液控单向阀V56b中允许逆自由流动。也就是说,在第二液控单向阀V56b中,工作油从油路L2的分支部J6侧朝向油路L11的分支部J10逆流。与此相对,在双向泵51未经由油路L1向第一液压室C32a供给工作油的情况下,在第二液控单向阀V56b中,工作油从油路LI1的分支部J10朝向油路L2的分支部J6侧流动。[0053]油路L11的分支部J10经由油路L12供油用油路),与储存工作油的储存器560连接。[0054]在液压回路部5〇中,油路L3第一紧急关闭用油路的一端连接于缸体32的第三工作油端口P32c,另一端连接于储存器560。在油路L3上设置有第一阻尼阀V52a。[OO55]第一阻尼阀V52a设有A端口、B端口以及先导端口,构成为,根据向先导端口供给的工作油的作用而使A端口与B端口之间成为连通状态或者截断状态。在对蒸汽阀部10进行通常的开闭动作时,第一阻尼阀V52a是A端口与B端口之间被截断的状态而关闭。与此相对,在对于蒸汽阀部10进行紧急关闭动作时,第一阻尼阀V52a成为A端口与B端口之间连通的状态而打开。[0056]在液压回路部50中,油路L4第二紧急关闭用油路的一端连接于缸体32的第四工作油端口P32d,另一端连接于油路L9的分支部J8。在油路L4上设置有第二阻尼阀V52b。[OO57]第二阻尼阀V52b设有A端口、B端口以及先导端口,构成为,根据向先导端口供给的工作油的作用而使A端口与B端口之间成为连通状态或者截断状态。在对蒸汽阀部1〇进行通常的开闭动作时,第二阻尼阀V52b是A端口与B端口之间被截断的状态而关闭。与此相对,在对于蒸汽阀部10进行紧急关闭动作时,第二阻尼阀V52b成为A端口与B端口之间连通的状态而打开。[0058]除此之外,在油路L4上,在比第二阻尼阀V52b靠油路L9的分支部J8侧连结有储能器522。储能器522经由连接于底部的给排油端口的储能器油路LA而与油路L4连接。储能器522在内部储存有工作油,并填充有氮气等气体,构成为通过气体的膨胀而向外部释放工作油。而且,为了测量将储能器522与油路L4连结的储能器油路LA的压力线压),设置有液压检测器523。[0059]在液压回路部50中,油路L5第一阻尼阀先导油路)的一端连接于第一阻尼阀V52a的先导端口。油路L6第二阻尼阀先导油路)的一端连接于第二阻尼阀V52b的先导端口。油路L5的另一端与油路L6的另一端这两者与位于油路L7的一端的分支部J7连接。油路L7的另一端与油路L10的分支部J9连接。[0060]在液压回路部50中,在油路L7设置有紧急关闭用电磁阀V524。这里,在对蒸汽阀部10进行通常的开闭动作时,紧急关闭用电磁阀V524为励磁状态,A端口与P端口之间连通而打开。与此相对,在对蒸汽阀部10进行紧急关闭动作时,紧急关闭用电磁阀V524成为无励磁状态,成为T端口与A端口之间连通的状态。[0061]在液压回路部50中,油路L8的一端连接于紧急关闭用电磁阀V524的T端口,另一端连接于储存器560。油路L7是第一紧急关闭用电磁阀设置油路,油路L8是第二紧急关闭用电磁阀设置油路。[0062]控制装置70包含运算器省略图示与存储器装置省略图示),运算器使用存储器装置所存储的程序进行运算处理,从而进行各部的控制。控制装置70被输入通过检测各部的状态而得的检测信号。除此之外,控制装置70例如被输入操作者输入到操作装置省略图示)的操作指令信号。控制装置70基于输入的各种信号,通过液压回路部50对液压驱动部30进行驱动,从而控制蒸汽阀部10的动作。[0063]以下,关于上述的蒸汽阀部10,对进行通常的开动作的情况事例1、进行通常的闭动作的情况事例2、进行紧急关闭动作的情况事例3、以及进行紧急关闭动作的解除动作的情况事例4进行说明。另外,关于进行向储能器522供给工作油的供油动作的情况事例5也一并进行说明。[0064]首先,说明蒸汽涡轮阀驱动装置20对上述的蒸汽阀部1〇进行通常的开动作的情况事例1参照图1所示的实线的箭头)。[0065]在进行通常的开动作的情况下,在液压回路部50中,控制装置7〇使用伺服驱动器514使伺服电动机512动作,以使双向栗51从第一泵端口P51a排出工作油。此时,第一截断用电磁阀V53a为励磁状态,并且成为工作油经由油路Lr流经第一液压室CMa与双向泵51之间的状态。同样,第二截断用电磁阀V53b为励磁状态,并且成为工作油经由油路L2流经第二液压室C32b与双向栗51之间的状态。[0066]因此,在第一液压室C32a中,从双向泵51的第一泵端口P51a排出的工作油流入第一工作油端口P32a。与此相对,在第二液压室C32b中,工作油从第二工作油端口P32b向双向泵51的第二泵端口P51b流出。由此,在作用于蒸汽阀部10的蒸汽力的影响下,活塞35在缸体32的内部空间C32中向铅垂方向z的上方移动。其结果,在蒸汽阀部1〇中,阀芯15向上方移动,阀座13与阀芯15之间的距离扩展,由此开度变大。[0067]此外,在进行通常的开动作的情况下,紧急关闭用电磁阀V524为励磁状态,A端口与P端口之间连通。因此,从双向泵51的第一泵端口P5la排出的工作油经由油路L1的分支部J2、油路L10的分支部J9以及油路L7的分支部J7之后,分别在油路L5与油路L6分支,分别作用于第一阻尼阀V52a的先导端口和第二阻尼阀V52b的先导端口。由此,第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b分别成为A端口与B端口之间被截断的状态。其结果,在储能器522的内部作为紧急油储存的工作油不会经由油路L4的第二阻尼阀V52b向第二液压室C32b的第四工作油端口P32d流入。另外,工作油不会从第一液压室C32a的第三工作油端口P32c经由油路L3的第一阻尼阀V52a向储存器560流出。[0068]接着,说明蒸汽涡轮阀驱动装置20对上述的蒸汽阀部1〇进行通常的闭动作的情况事例2参照图1所示的虚线的箭头)。[0069]在进行通常的闭动作的情况下,在液压回路部50中,控制装置70使用伺服驱动器514使伺服电动机512动作,以使双向泵51从第二泵端口P51b排出工作油。在进行通常的闭动作的情况下,与进行通常的开动作的情况相同,第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b为励磁状态。[0070]因此,在第二液压室C32b中,从双向泵51的第二泵端口P51b排出的工作油流入第二工作油端口P32b,相对于此,在第一液压室C32a中,工作油从第一工作油端口P32a向双向泵51的第一栗端口P51a流出。由此,在作用于蒸汽阀部10的蒸汽力的影响下,活塞35在缸体32的内部空间C32中向铅垂方向z的下方移动。其结果,在蒸汽阀部10中,阀芯15向下方移动,阀座13与阀芯15之间的距离变短,由此开度变小。[0071]此外,在进行通常的闭动作的情况下,与进行通常的开动作的情况相同,紧急关闭用电磁阀V524为励磁状态,A端口与P端口之间连通。因此,从双向泵51的第二泵端口P51b排出的工作油经由油路L2的分支部J5、油路L10的分支部J9以及油路L7的分支部J7之后,分别在油路L5与油路L6分支,进而分别作用于第一阻尼阀V52a的先导端口和第二阻尼阀V52b的先导端口。因此,第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b分别成为A端口与B端口之间被截断的状态。其结果,在储能器522的内部作为紧急油储存的工作油不会经由油路L4的第二阻尼阀V52b向第二液压室C32b的第四工作油端口P32d流入。另外,工作油不会从第一液压室C32a的第三工作油端口P32c经由油路L3的第一阻尼阀V52a向储存器560流出。[0072]这样,在本实施方式中,在进行通常的开动作的情况下以及进行通常的闭动作的情况下分别构成为,通过双向泵51排出的工作油的作用,成为第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b关闭的状态。[0073]接着,使用图2说明蒸汽涡轮阀驱动装置20对上述的蒸汽阀部10进行紧急关闭动作的情况事例3。也就是说,说明以比在通常的闭动作中关闭蒸汽阀部10的速度更高的速度迅速关闭蒸汽阀部10的情况。在图2中,用粗实线的箭头一并标注执行紧急关闭动作时的工作油的情形。[0074]在蒸汽涡轮发电设备中产生异常时,通过由控制装置70控制构成紧急关闭机构52的各部的动作来执行紧急关闭动作。通过执行紧急关闭动作,作为工作介质向蒸汽涡轮供给的蒸汽的流动被截断,蒸汽涡轮停止。[0075]在进行紧急关闭动作的情况下,与进行通常的闭动作的情况不同,紧急关闭用电磁阀V524基于控制装置70的控制信号,从励磁状态改变为无励磁状态。也就是说,紧急关闭用电磁阀V524改变为A端口与P端口之间不连通、A端口与T端口之间连通的状态。由此,工作油从第一阻尼阀V52a的先导端口依次流经油路L5与油路L7之后,从紧急关闭用电磁阀V524的T端口经由油路L8向储存器560流出。同样,工作油从第二阻尼阀V52b的先导端口依次流经油路L6与油路L7之后,从紧急关闭用电磁阀V524的T端口经由油路L8向储存器560流出。其结果,第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b分别成为A端口与B端口之间连通的状态,成为两者打开的状态。[0076]伴随于此,作为紧急油储存于储能器522的内部的工作油,经由油路L4的第二阻尼阀V52b向第二液压室C32b的第四工作油端口P32d流入。而且,工作油从第一液压室C32a的第三工作油端口P32c经由油路L3的第一阻尼阀V52a向储存器560流出。这里,从储能器522向第二液压室C32b供给工作油的速度比从双向栗51向第二液压室C32b供给工作油的速度高。由此,在缸体32的内部空间C32中,活塞35向铅垂方向z的下方迅速移动。其结果,蒸汽阀部10迅速地全部关闭。而且,在全部关闭蒸汽阀部1〇之后,也可以根据需要而截断伺服电动机512与伺服驱动器514的连接,从而改变为不控制伺服电动机512的转速的状态。[0077]如以上那样,在本实施方式中,从储能器522向第二液压室C32b供给工作油,并从第一液压室C32a排出工作油,由此,紧急关闭机构52执行蒸汽阀部10的紧急关闭动作。在本实施方式中,未利用自封闭弹簧的弹簧力来进行紧急关闭动作。因此,在本实施方式中,驱动双向栗51的伺服电动机512在进行打开蒸汽阀部1〇的动作时不需要克服流经蒸汽阀部10的蒸汽的蒸汽力与自封闭弹簧的弹簧力这两者的扭矩。其结果,在本实施方式中,能够减小伺服电动机512的容量。[0078]因此,在本实施方式中,关于蒸汽涡轮阀驱动装置,能够容易地实现小型化以及省电化。[0079]此外,在进行紧急关闭动作的情况下,在液压回路部5〇中,与进行通常的闭动作的情况不同,通过使第一截断用电磁阀V53a从励磁状态成为无励磁状态来截断油路L1。并且,通过使第二截断用电磁阀V53b从励磁状态成为无励磁状态来截断油路L2。也就是说,成为工作油在第一液压室C32a与双向栗51的第一泵端口?51之间未经由油路L1流动的状态,并且是工作油在第二液压室C32b与双向栗51的第二泵端口P5lb之间未经由油路L2流动的状o[0080]因此,在本实施方式中,在执行紧急关闭动作的情况下,能够防止工作油从第一液压室C32a以及第二液压室C32b流向双向泵51。其结果,在本实施方式中,能够防止双向泵51以及伺服电动机512中的转速超过可允许的转速。[0081]另外,在本实施方式中,由于第一单向阀V54a以及第二单向阀V54b设置于油路L9,因此,能够防止在紧急关闭动作时储能器522的工作油向双向泵51逆流。[0082]接着,使用图3说明蒸汽涡轮阀驱动装置20对上述的蒸汽阀部10执行紧急关闭动作的解除动作的情况事例4。在图3中,用粗实线的箭头一并标注执行紧急关闭动作的解除动作时的工作油的情形。[0083]在蒸汽涡轮发电设备从异常状态返回到正常状态时,为了返回到能够对蒸汽阀部10执行通常的开闭动作的状态而执行紧急关闭动作的解除动作。[0084]在进行紧急关闭动作的解除动作的情况下,紧急关闭用电磁阀V524基于控制装置70的控制信号,从无励磁状态改变为励磁状态。也就是说,紧急关闭用电磁阀V524改变为A端口与T端口之间不连通、A端口与P端口之间连通的状态。之后,在紧急关闭动作时伺服电动机512与伺服驱动器514之间的连接被解除的情况下伺服“关”),通过将伺服电动机512与伺服驱动器514之间连接,从而改变为能够控制伺服电动机512的转速的状态(伺服“开”)。此时,关于第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b,使无励磁状态保持。[0085]并且,例如使伺服电动机512驱动,以便双向泵51向关闭蒸汽阀部10的方向排出工作油。由此,储存于储存器560的工作油经由油路L12向油路L11的分支部J10流入之后,流经第一液控单向阀V56a。并且,流经该第一液控单向阀V56a的工作油在双向栗51中从第一泵端口P51a流向第二栗端口P51b而排出。[0086]之后,在油路L10中,工作油经由第四单向阀V55b流向分支部J9。并且,流入分支部J9的工作油在油路L7中经由紧急关闭用电磁阀V524流向分支部J7。并且,流向分支部J7的工作油经由油路L5流向第一阻尼阀V52a的先导端口,并且经由油路L6流向第二阻尼阀V52b的先导端口。由此,第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b分别成为A端口与B端口之间被截断的状态,成为两者关闭的状态。[0087]如上述那样,在执行紧急关闭动作的解除动作时,通过将紧急关闭用电磁阀V524从无励磁状态改变为励磁状态,从而关闭第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b。伴随于此,不再从储能器522向第二液压室C32b供给工作油。另外,不再从第一液压室C32a向储存器560流出工作油。[0088]如上述那样,在进彳丁紧急关闭动作的解除动作之后,如图1所不,将第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b从无励磁状态改变为励磁状态。例如,关于将储能器522与油路L4连结的储能器油路LA的压力线压),在液压检测器523检测到的结果为规定值以上的情况下,将第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b改变为励磁状态。这样,通过将双向栗51与缸体32之间连接,能够返回到可执行通常的开闭动作的状态。[0089]此外,在上述中,为了关闭第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀VMb,向关闭蒸汽阀部10的方向驱动双向栗51,但并不限于此。也可以通过向打开蒸汽阀部10的方向驱动双向泵51,从而关闭第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b。虽然未图示,在该情况下,存储于储存器560的工作油经由油路L12向油路L11的分支部J10流入后,经由第二液控单向阀V56b,在双向栗51中从第二栗端口P51b流向第一泵端口P51a而排出。之后,在油路L10中,工作油经由第三单向阀V55a流向分支部J9。并且,与上述相同,通过工作油流动,从而成为第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀VMb这两者关闭的状态。这样,在本实施方式中,即使使双向杲51向关闭蒸汽阀部10的方向以及打开蒸汽阀部1〇的方向动作情况下,也能够执行紧急关闭动作的解除动作。[0090]接着,使用图4说明执行向储能器522供给工作油的供油动作的情况事例5。在图4中,用粗实线的箭头一并标注了执行供油动作时的工作油的情形。[0091]在液压检测器523检测到的压力比规定值低的情况下执行供油动作。通过执行供油动作,液压检测器523所检测的压力成为规定值以上,从而返回到能够执行紧急关闭动作的状态。[0092]在执行供油动作的情况下,使紧急关闭用电磁阀V524为励磁状态,并且使第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b为无励磁状态。也就是说,紧急关闭用电磁阀V524被设为A端口与P端口之间连通的状态,并且是工作油流经油路L7的状态。第一截断用电磁阀V53a被设为在油路L1中、双向泵51与第一液压室C32a之间不流过工作油的状态。而且,第二截断用电磁阀V53b被设为在油路L2中、双向泵51与第二液压室C32b之间不流过工作油的状态。通过使第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b为无励磁状态,从而使双向栗51与缸体32之间为隔离状态,防止在缸体32的内部中活塞35移动。[0093]之后,例如,使伺服电动机512驱动,以使双向栗51向关闭蒸汽阀部10的方向排出工作油。由此,存储于储存器560的工作油经由油路L12向油路LI1的分支部J10流入后,流经第一液控单向阀V56a。并且,流经该第一液控单向阀V5ea的工作油在双向栗51中从第一栗端口P51a流向第二栗端口P51b而排出。[0094]伴随于此,在油路L10中,与上述“紧急关闭动作的解除”的情况相同,工作油经由第四单向阀V55b流向分支部J9之后,流入分支部J9的工作油在油路L7中经由紧急关闭用电磁阀V524流向分支部J7。并且,流向分支部J7的工作油经由油路L5流向第一阻尼阀V52a的先导端口,并且经由油路L6流向第二阻尼阀V52b的先导端口。由此,第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b分别成为A端口与B端口之间被截断的状态,成为两者关闭的状态。[0095]并且,在供油动作中,油路L9中的工作油经由第二单向阀V54b流向分支部J8。并且,流入分支部J8的工作油经由油路L4向储能器522供给。通过向储能器522供给工作油,在液压检测器523所检测的压力到达规定值时,使供油动作停止。由此,可返回到能够执行紧急关闭动作的状态。[0096]如上述那样,在使供油动作停止之后,如图1所示,将第一截断用电磁阀V53a以及第二截断用电磁阀V53b从无励磁状态改变为励磁状态。由此,可返回到能够执行通常的开闭动作的状态。[0097]此外,在上述的供油动作中,使双向泵51向关闭蒸汽阀部10的方向驱动,但并不限于此。在供油动作中,也可以与紧急关闭动作的解除的情况相同,使双向泵51向打开蒸汽阀部10的方向驱动。虽然省略图示,在该情况下,油路L9中的工作油经由第一单向阀V54a流向分支部J8之后,经由油路L4向储能器522供给。这样,在本实施方式中,即使使双向栗51向关闭蒸汽阀部10的方向以及打开蒸汽阀部1〇的方向动作的情况下,也能够执行供油动作。[0098]〈第二实施方式〉[00"]使用图5说明本实施方式的蒸汽涡轮发电设备。在图5中,关于设有蒸汽阀部i0以及液压驱动部3〇的部分,图示了沿着铅垂方向z的铅垂面^面的剖面。在图5中,对与图1重复的部分适当地省略了图示。[0100]如图5所示,本实施方式的液压驱动部3〇设有封闭用弹簧82。封闭用弹簧82例如为将金属线卷绕为螺旋状的螺旋弹簧,收容于在铅垂方向z上设置于阀壳部11与缸体32之间的弹簧箱部S1的内部。封闭用弹簧82设置为在铅垂方向z上贯通操作杆31的内部。封闭用弹簧82构成为利用由活塞35操作的操作杆31而伸缩。[0101]这里,在操作杆31固定有弹簧座31R。而且,在弹簧座31R的上方,将固定板83固定于弹簧箱部81的内周面。封闭用弹簧82夹设于弹簧座31R与固定板83之间,由于弹簧座31R的位置伴随着操作杆31的移动而改变,由此封闭用弹簧82在沿着操作杆31的轴的铅垂方向z上变形。封闭用弹簧82向下方按压弹簧座31R,从而向关闭蒸汽阀部10的方向施力。[0102]在本实施方式中,封闭用弹簧82不具有执行紧急关闭动作所需的较大的弹簧力。封闭用弹簧82具有克服阀轴14与衬套14B之间的摩擦力以及设于操作杆31的活塞35与缸体32之间的摩擦力的程度的较小的弹簧力。也就是说,只要如下这样构成液压驱动部30即可:在缸体32的内部空间C32中的工作油为工作油不对活塞35作用且活塞35不会由于工作油而滑动的状态时,由于封闭用弹簧82的弹簧力,活塞35使阀芯15向阀座13移动,蒸汽阀部10成为全部关闭的状态。[0103]因此,在本实施方式中,在蒸汽涡轮停止时,伺服电动机512摆脱转速控制而成为在缸体32的内部空间C32中工作油不作用于活塞35的状态的情况下,能够利用封闭用弹簧82的弹簧力使蒸汽阀部10成为全部关闭的状态。之后,在进行蒸汽涡轮的起动时,在达到允许将蒸汽作为工作介质从锅炉向蒸汽涡轮供给的状态为止的期间内,能够对蒸汽阀部10保持全闭状态。[0104]因此,在本实施方式中,在进行蒸汽涡轮的起动时,无需另外执行使蒸汽阀部10为全闭状态的工序,因此能够顺畅地执行蒸汽涡轮的起动。[0105][0106]使用图6说明本实施方式的蒸汽涡轮发电设备。在图6中,图示了液压回路部50中的设有双向泵51、伺服电动机512、旋转变压器513以及伺服驱动器514的部分。在图6中,对于与图1重复的部分适当地省略了图示。[0107]如图6所示,在本实施方式中,还设有动态制动装置515以及开关516。[0108]动态制动装置515构成为,通过使伺服电动机512中的绕组短路,从而产生制动力。[0109]开关516进行切换,以使伺服电动机512电连接于伺服驱动器514与动态制动装置515中的某一方。[0110]具体而言,在伺服驱动器514产生异常而成为不能控制伺服电动机512的转速的状态时,根据伺服驱动器514输出的信号(伺服“关”信号),开关516被切换,使得伺服电动机512与动态制动装置515电连接。由此,在伺服电动机512中产生制动。[0111]在成为伺服电动机512的转速控制摆脱了伺服驱动器514的状态时,存在工作油从缸体32以及储能器522流入双向栗51的情况参照图1。因此,双向泵51的转速以及伺服电动机512的转速可能会超过可允许的转速。[0112]但是,在本实施方式中,在成为伺服电动机512的转速控制摆脱伺服驱动器514的状态时,通过动态制动装置515的制动力,在伺服电动机512中引发制动。[0113]因此,在本实施方式中,能够防止双向栗51的转速以及伺服电动机512的转速超过可允许的转速。[0114][0115]使用图7说明本实施方式的蒸汽涡轮发电设备。在图7中,图示了设有蒸汽阀部10与液压驱动部30的部分、以及设有液压回路部50中的紧急关闭机构52、52_2的部分。在图7中,对与图1重复的部分适当地省略了图示。[0116]如图7所示,设有两个紧急关闭机构52、52_2。在液压回路部50中,两个紧急关闭机构52、52_2相互并列地设置。[0117]具体而言,一方的紧急关闭机构52包括第一阻尼阀V52a、第二阻尼阀V52b以及紧急关闭用电磁阀V524。与此相对,另一方的紧急关闭机构52_2包括第一阻尼阀V52a_2、第二阻尼阀V52b_2以及紧急关闭用电磁阀V524_2。一方的紧急关闭机构52与另一方的紧急关闭机构52_2这两者构成为彼此相同。[0118]在本实施方式中,在执行紧急关闭动作时,在一方的紧急关闭机构52中,紧急关闭用电磁阀VM4成为无励磁状态。由此,工作油从第一阻尼阀V52a的先导端口依次流经油路L5与油路L7之后,从紧急关闭用电磁阀V524的T端口经由油路L8向储存器560流出。同样,工作油从第二阻尼阀V52b的先导端口依次流经油路L6与油路L7之后,从紧急关闭用电磁阀V524的T端口经由油路L8向储存器560流出。其结果,第一阻尼阀V52a以及第二阻尼阀V52b分别成为打开的状态。[0119]并且,在另一方的紧急关闭机构52_2中,紧急关闭用电磁阀V524_2也成为无励磁状态。由此,工作油从第一阻尼阀V52a_2的先导端口依次流经油路L5_2与油路1^7_2之后,从紧急关闭用电磁阀V524的T端口经由油路L8_2向储存器560流出。同样,工作油从第二阻尼阀V52b_2的先导端口依次流经油路L6_2与油路L7_2之后,从紧急关闭用电磁阀V524的T端口经由油路L8_2向储存器560流出。其结果,第一阻尼阀V52a_2以及第二阻尼阀V52b_2分别成为打开的状态。[0120]伴随于此,作为紧急油储存于储能器522的内部的工作油经由油路L4、L4_2的第二阻尼阀V52b、V52b_2向第二液压室C32b的第四工作油端口P32d流入。而且,工作油从第一液压室C32a的第三工作油端口P32c经由油路L3、L3_2的第一阻尼阀V52a、V52a_2向储存器560流出。由此,在缸体32的内部空间C32中,活塞35向铅垂方向z的下方迅速移动。其结果,蒸汽阀部10迅速地全部关闭。[0121]如以上那样,在本实施方式中,设有两个紧急关闭机构52、52_2。因此,即使在两个紧急关闭机构52、52_2中的一方产生了动作不良的情况下,也能够使用另一方执行紧急关闭动作。因此,在本实施方式中,能够更可靠地执行紧急关闭动作,因此能够提高可靠性。[0122][0123]使用图8说明本实施方式的蒸汽涡轮发电设备。在图8中,图示了设有蒸汽阀部1〇与液压驱动部30的部分以及液压回路部50中的设有紧急关闭机构52的部分。在图8中,对与图1重复的部分适当地省略了图示。[0124]如图8所示,在本实施方式中,从储能器油路LA分支有两个储能器分支油路LAa、LAb〇[0125]一方的储能器分支油路LAa的一端(上端连接于储能器522a,另一端下端连接于储能器油路LA。一方的储能器分支油路LAa设有分支部JA,并设置为在其一端与分支部JA之间由液压检测器523a检测一方的储能器分支油路LAa的液压。并且,一方的储能器分支油路LAa的另一端与分支部JA之间设有工作油截断阀V91a。而且,以夹设于一方的储能器分支油路LAa的分支部JA与设于油路L3的分支部JC之间的方式设有排放油路LBa。在排放油路LBa上设有排放阀V92a。[0126]在图8中,示出了一方的储能器分支油路LAa的液压为规定值以上的情况。在该情况下,如图8所示,成为关闭工作油截断阀V91a以及排放阀V92a的状态。[0127]另一方的储能器分支油路LAb构成为与上述一方的储能器分支油路LAa相同。也就是说,另一方的储能器分支油路Lab的一端连接于储能器522b,另一端连接于储能器油路LA。另一方的储能器分支油路LAb设有分支部JB,并设置为在其一端与分支部JB之间由液压检测器523b检测液压。并且,另一方的储能器分支油路Lab的另一端与分支部JB之间设有工作油截断阀V9lb。而且,以夹设于另一方的储能器分支油路LAb的分支部JB与设于油路L3的分支部JC之间的方式设有排放油路LBb。在排放油路LBb上设有排放阀V92b。上述2台储能器522a、522b的作用分担为在线用与待机用。关于待机用的储能器,气压被监视并根据需要填充气体。[0128]图8中示出了另一方的储能器分支油路LAb的液压小于规定值的情况。此时,在关闭了排放阀V92a的状态下,打开工作油截断阀V91a。而且,通过执行上述供油动作,向与另一方的储能器分支油路LAb连接的储能器522b供给工作油。并且,在另一方的储能器分支油路LAb的液压达到规定值时,停止供油动作。[0129]设置于一方的储能器分支油路LAa的储能器522a连结有气体流路LGa。气体流路LGa为充气管线,一端连接于气体供给源省略图示),另一端连接于储能器522a的气体供给口。气体流路LGa设置有气体截断阀V95a,并设置成在其另一端与气体截断阀V95a之间由气压检测器93a检测气体流路LGa的气压。[0130]同样,在另一方的储能器分支油路LAb中,储能器522b连结有气体流路LGb。气体流路LGb为充气管线,一端连接于气体供给源,另一端连接于储能器522b的气体供给口。气体流路LGb设置有气体截断阀V95b,并设置成在其另一端与气体截断阀V95b之间由气压检测器93b检测气体流路LGb的气压。[0131]图8中示出了一方的气体流路LGa的气压以及另一方的气体流路LGb的气压为规定值以上的情况。在该情况下,设为关闭一方的气体截断阀V95a以及另一方的气体截断阀V95b的状态。[0132]虽然省略图示,在一方的气体流路LGa的气压小于规定值的情况下,通过打开一方的气体截断阀V95a,向一方的储能器522a填充氮气等气体。在关闭工作油截断阀V91a的状态下执行向一方的储能器52¾填充气体的动作。关于排放阀V92a,在气体的填充过程中打开,在气体的填充结束后关闭。同样,在另一方的气体流路LGb的气压小于规定值的情况下,通过打开另一方的气体截断阀V95b,向另一方的储能器522b填充氮气等气体。在关闭工作油截断阀V91b的状态下执行向另一方的储能器522b填充气体的动作。关于排放阀V92b,在气体的填充过程中打开,在气体的填充结束后关闭。[0133]如以上那样,在本实施方式中,能够向储能器522a、522b填充氮气等气体,因此能够针对填充到储能器522a、522b的气体的压力保持规定值。因此,在本实施方式中,能够更可靠地执行紧急关闭动作,因此能够提高可靠性。[0134]虽然已经描述了某些实施方式,但是这些实施方式仅作为示例呈现,并不旨在限制本发明的范围。实际上,这里描述的新的实施方式可以以各种其他形式来体现,此外,在不脱离本发明的构思的情况下,可以对这里描述的实施方式的形式进行各种省略、替换和变形。这些实施方式及其变形包含于发明的范围或主旨中,且包含于权利要求书中记载的发明及其均等的范围中。[0135]附图标记说明[0136]10…蒸汽阀部,11…阀壳部,11A…蒸汽入口,11B…蒸汽出口,13…阀座,14…阀轴,14B…衬套,15…阀芯,20…蒸汽涡轮阀驱动装置,30…液压驱动部,31…操作杆,32…缸体,35…活塞,38…开度检测器,50…液压回路部,51…双向栗,52…紧急关闭机构,52—2"_紧急关闭机构,70…控制装置,81…弹簧箱部,82…封闭用弹簧,83…固定板,93a…气压检测器,93b…气压检测器,512…伺服电动机,513…旋转变压器,514…伺服驱动器,515…动态制动装置,516…开关,522…储能器,522a…储能器,522b…储能器,523…液压检测器,523a…液压检测器,523b…液压检测器,560…储存器,C32…内部空间,C32a…第一液压室,C32b…第二液压室,FU…蒸汽,F12…蒸汽,J1〜J10…分支部,JA〜JC…分支部,L卜•油路第一开度控制用油路),L2…油路第二开度控制用油路),L3…油路第一紧急关闭用油路),L3_2…油路第一紧急关闭用油路),L4…油路第二紧急关闭用油路),L4_2…油路第二紧急关闭用油路),L5…油路第一阻尼阀先导油路),L5_2…油路第一阻尼阀先导油路),L6…油路第二阻尼阀先导油路),L6_2…油路第二阻尼阀先导油路),L7…油路第一紧急关闭用电磁阀设置油路),L7_2…油路第一紧急关闭用电磁阀设置油路),L8-油路第二紧急关闭用电磁阀设置油路),L8_2…油路第二紧急关闭用电磁阀设置油路),L9…油路第一单向阀设置油路),L10…油路第二单向阀设置油路),L11…油路液控单向阀设置油路),L12…油路供油用油路),LA…储能器油路,LAa…储能器分支油路,LAb…储能器分支油路,LBa…排放油路,LBb…排放油路,LGa…气体流路,LGb…气体流路,LL…泄漏管线,P32a…第一工作油端口,P32b…第二工作油端口,P32c…第三工作油端口,P32d…第四工作油端口,P51a…第一栗端口,P51b…第二栗端口,V524…紧急关闭用电磁阀,V524_2…紧急关闭用电磁阀,V52a…第一阻尼阀,V52a—2…第一阻尼阀,V52b…第二阻尼阀,V52b_2…第二阻尼阀,V53a“.第一截断用电磁阀,V53b…第二截断用电磁阀,V54a…第一单向阀,V54b”.第二单向阀,V55a."第三单向阀,V55b…第四单向阀,VMa…第一液控单向阀,V56b…第二液控单向阀,V91a…工作油截断阀,V91b…工作油截断阀,V92a…排放阀,V92b…排放阀,V95a…气体截断阀,V95b…气体截断阀。

权利要求:1.一种蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具备:活塞,设于操作杆,该操作杆对流向蒸汽涡轮的蒸汽的流路上设置的蒸汽阀部进行操作;缸体,将上述活塞收容于内部空间,上述内部空间被上述活塞划分为第一液压室与第二液压室;双向栗,通过向上述第一液压室供给工作油而执行上述蒸汽阀部的开动作,并且通过向上述第二液压室供给工作油而执行上述蒸汽阀部的闭动作;以及伺服电动机,对上述双向栗进行驱动,上述蒸汽涡轮阀驱动装置具有紧急关闭机构,该紧急关闭机构执行比上述闭动作更迅速地关闭上述蒸汽阀部的紧急关闭动作,上述紧急关闭机构将储能器所储存的工作油向上述第二液压室供给,并从上述第一液压室排出工作油,从而执行上述紧急关闭动作。2.根据权利要求1所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,上述紧急关闭机构包含:第一阻尼阀,设置于与上述第一液压室连接的第一紧急关闭用油路;第二阻尼阀,设置于与上述第二液压室连接的第二紧急关闭用油路;以及紧急关闭用电磁阀,构成为通过从励磁状态改变为无励磁状态,从而将上述第一阻尼阀以及上述第二阻尼阀从关闭的状态改变为打开的状态,在执行上述紧急关闭动作时,上述紧急关闭用电磁阀改变为无励磁状态,上述第一阻尼阀以及上述第二阻尼阀打开,从而工作油从上述储能器经由上述第二阻尼阀向上述第二液压室流入,并且工作油从上述第一液压室经由上述第一阻尼阀向储存器流出。3.根据权利要求2所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具有:第一截断用电磁阀,设置于在上述双向栗与上述第一液压室之间设置的第一开度控制用油路;以及第二截断用电磁阀,设置于在上述双向泵与上述第二液压室之间设置的第二开度控制用油路,在执行上述紧急关闭动作时,通过使上述第一截断用电磁阀从励磁状态成为无励磁状态,从而将上述第一开度控制用油路截断,并且,通过使上述第二截断用电磁阀从励磁状态成为无励磁状态,从而将上述第二开度控制用油路截断。4.根据权利要求2或3所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,在执行上述紧急关闭动作的解除动作时,通过使上述紧急关闭用电磁阀从无励磁状态改变为励磁状态,从而上述双向泵经由上述紧急关闭用电磁阀从上述储存器向上述第一阻尼阀的先导端口以及上述第二阻尼阀的先导端口供给工作油,关闭上述第一阻尼阀以及上述第二阻尼阀。5.根据权利要求4所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,上述双向泵所排出的工作油经由单向阀流入上述紧急关闭用电磁阀。6.根据权利要求2至4的任一项所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,在执行供油动作时,在上述紧急关闭用电磁阀为励磁状态、且关闭了上述第一阻尼阀以及上述第二阻尼阀的状态下,上述双向泵从上述储存器向上述储能器供给工作油。7.根据权利要求6所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具有对上述储能器所储存的工作油的液压进行检测的液压检测器,在上述液压检测器检测出的液压比规定值小时,执行上述供油动作。8.根据权利要求6或7所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,构成为,上述双向泵所排出的工作油经由单向阀流入上述储能器。9.根据权利要求4至8的任一项所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,构成为,上述储存器所储存的工作油经由液控单向阀流入上述双向栗。10.根据权利要求1至9的任一项所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具备向关闭上述蒸汽阀部的方向施力的封闭用弹簧。11.根据权利要求1至10的任一项所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具备:动态制动装置;以及开关,进行切换,以使上述伺服电动机电连接于伺服驱动器与动态制动装置中的某一方,在上述伺服驱动器产生异常时,上述开关进行切换,以使上述伺服电动机与上述动态制动装置电连接,从而上述动态制动装置停止上述伺服电动机的动作。12.根据权利要求1至11的任一项所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,具有多个上述紧急关闭机构。13.根据权利要求1至12的任一项所述的蒸汽涡轮阀驱动装置,其特征在于,上述储能器构成为,在内部填充有气体,并通过上述气体的膨胀而向外部释放工作油,设置有对填充于上述储能器的气体的压力进行检测的气压检测器,并且,在上述气压检测器检测出的压力比规定值小时,向上述储能器填充气体。

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