申请/专利权人：广东梓优机械科技有限公司

申请日：2020-07-11

公开（公告）日：2020-10-13

公开（公告）号：CN111769063A

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2021.12.07#发明专利申请公布后的撤回;2020.10.30#实质审查的生效;2020.10.13#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆传送盒，其结构包括储存盒、活塞盖、活塞杆、密封外壳，储存盒嵌固安装在活塞盖的下端面，且与密封外壳嵌套连接，活塞盖左侧端面活动卡合连接着活塞杆，活塞杆下端右侧端面活动卡合安装在密封外壳的左右两侧，密封外壳位于活塞盖正下方，当储存盒受到颠簸振动时，减震机构的活动板受力会向内挤压弹簧与贯穿杆，使贯穿杆向下推动空气，利用气流流动从而减缓贯穿杆的下沉速度，最后通过均匀分布的弹簧弹力效果对安装槽进行减震缓冲，可使晶圆之间避免相互摩擦。

主权项：1.一种晶圆传送盒，其结构包括储存盒（1）、活塞盖（2）、活塞杆（3）、密封外壳（4），所述储存盒（1）嵌固安装在活塞盖（2）的下端面，且与密封外壳（4）嵌套连接，所述活塞盖（2）左侧端面活动卡合连接着活塞杆（3），所述活塞杆（3）下端右侧端面活动卡合安装在密封外壳（4）的左右两侧，所述密封外壳（4）位于活塞盖（2）正下方；其特征在于：所述储存盒（1）包括贴合板（11）、转轴（12）、固定板（13）、安装槽（14），所述贴合板（11）通过焊接安装在活塞盖（2）下端面，且与转轴（12）相连接，所述转轴（12）位于固定板（13）正上方，所述固定板（13）镶嵌贴合在储存盒（1）的下端内侧面，所述安装槽（14）镶嵌安装在贴合板（11）的正下方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东梓优机械科技有限公司 一种晶圆传送盒

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