申请/专利权人：黑龙江哈工华粹智能装备有限公司

申请日：2017-11-24

公开（公告）日：2020-11-24

公开（公告）号：CN107907959B

主分类号：G02B7/00(20060101)

分类号：G02B7/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.11.24#授权;2018.05.08#实质审查的生效;2018.04.13#公开

摘要：一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，属于光学调整及检测技术领域。两个X轴直线电机定子、X轴光栅尺及多个X轴限位组件均安装在花岗岩底座上，两个X轴直线电机线圈各通过一个X轴直线电机线圈座安装在X轴溜板上，X轴溜板滑动设置在花岗岩底座上面，四个Y轴限位组件安装在两个X轴直线电机线圈座上，Y轴光栅尺安装在X轴溜板上面；两个Y轴直线电机线圈各通过一个Y轴直线电机线圈座安装在Y轴溜板，Y轴溜板滑动设置在X轴溜板上面，Z轴精密升降台固定在两个Y轴直线电机线圈座上面，Z轴精密旋转台安装在Z轴精密升降台上面，θ轴三点调平台安装在Z轴精密旋转台上面。本发明用于需要使用超精密多轴调整台的场合。

主权项：1.一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，其特征在于：所述的装置包括底座组件1、X轴气浮导轨2、Y轴气浮导轨3、Z轴精密升降台4、Z轴精密旋转台5、θ轴三点调平台6；所述的底座组件1包括花岗岩底座8、X轴光栅尺10、两个X轴直线电机定子7及八个X轴限位组件9；所述的X轴气浮导轨2包括Y轴光栅尺14、X轴溜板15、两个X轴直线电机线圈座12、两个X轴直线电机线圈13及四个Y轴限位组件11；所述的Y轴气浮导轨3包括Y轴溜板16、两个Y轴直线电机线圈座17及两个Y轴直线电机线圈18；所述的X轴光栅尺10及两个X轴直线电机定子7均安装在花岗岩底座8上面，所述的八个X轴限位组件9安装在四个支座上，所述的四个支座呈矩形布置并固定在花岗岩底座8上面，所述的两个X轴直线电机定子7相对设置，所述的X轴光栅尺10设置在两个X轴直线电机定子7之间；所述的两个X轴直线电机线圈13各通过一个X轴直线电机线圈座12安装在X轴溜板15上，所述的X轴溜板15滑动设置在花岗岩底座8上面，所述的四个Y轴限位组件11安装在两个X轴直线电机线圈座12上，工作时X轴溜板15在X轴直线电机线圈13的作用下实现往复运动，并通过八个X轴限位组件9对X轴溜板15机械位置进行限位，所述的Y轴光栅尺14安装在X轴溜板15上面；所述的两个Y轴直线电机线圈18各通过一个Y轴直线电机线圈座17安装在Y轴溜板16上，所述的Y轴溜板16滑动设置在X轴溜板15上面；所述的Z轴精密升降台4固定在两个Y轴直线电机线圈座17上面，所述的Z轴精密旋转台5安装在Z轴精密升降台4上面，所述的θ轴三点调平台6安装在Z轴精密旋转台5上面；所述的Z轴精密旋转台5包括旋转台上板33、压圈34、隔圈36、旋转台下板37、旋转轴38、直驱旋转电机39、电机压圈40、圆光栅41、读数头42、读数头座43及两个角接触轴承35；所述的旋转台下板37固定在Z轴精密升降台4上面，所述的旋转台上板33下端设置在旋转台下板37内，旋转台上板33与旋转台下板37之间装有两个角接触轴承35，所述的两个角接触轴承35之间通过隔圈36隔开，旋转台下板37通过两个角接触轴承35、隔圈36与旋转台上板33做对向旋转运动，所述的压圈34设置在旋转台下板37与旋转台上板33之间，压圈34将角接触轴承35压紧，所述的旋转轴38安装在旋转台上板33上端内表面中部，所述的直驱旋转电机39安装在旋转台下板37上，直驱旋转电机39通过电机压圈40旋转轴38转动，从而带动旋转台上板33转动，所述的圆光栅41安装在电机压圈40上，所述的读数头42通过读数头座43与旋转台下板37固定连接；所述的θ轴三点调平台6包括旋转台上板44、旋转台下板53、三个弹簧导柱座45、三个弹簧46、三个弹簧导柱47、六个L型连接板48、三个球关节凹面49、三个球关节凸面50、三个差动测微头51及三个差动测微头座52；所述的六个L型连接板48设置在旋转台下板53外周边并均与旋转台下板53固定连接，其中相隔的三个L型连接板48上均安装有弹簧导柱座45，每个所述的弹簧导柱座45内均穿入一个弹簧导柱47，所述的三个弹簧导柱47上端均与旋转台上板44下面固定连接，每个弹簧导柱47上位于弹簧导柱座45下方均套装有弹簧46，弹簧导柱47通过弹簧46与弹簧导柱座45实现柔性连接，所述的三个差动测微头座52固定在另外三个L型连接板48上，每个所述的差动测微头座52上安装有一个差动测微头51，所述的三个球关节凹面49与三个球关节凸面50一一对应设置，每个所述的球关节凹面49与对应的球关节凸面50相配合，三个球关节凹面49均与旋转台上板44下表面固定连接，所述的三个球关节凸面50与三个差动测微头51一一对应，每个球关节凸面50与对应的差动测微头51固定连接；所述的Z轴精密升降台4包括升降台上板19、上交叉滚柱导轨20、楔形块21、Z轴光栅尺24、Z轴光栅尺座25、下交叉滚柱导轨27、减速器座28、谐波减速器29、伺服电机30、升降台下板31、滚珠丝杠系统32、四个导柱22、四个自润滑直线轴承23及四个直线轴承座26；所述的楔形块21通过上交叉滚柱导轨20、下交叉滚柱导轨27分别与升降台上板19、升降台下板31相连接，所述的滚珠丝杠系统32与楔形块21紧固连接，所述的四个直线轴承座26安装在升降台下板31上面，每个所述的直线轴承座26上面均安装有一个所述的自润滑直线轴承23，安装在所述的升降台上板19下面的四个导柱22与四个自润滑直线轴承23做相对运动，所述的减速器座28安装在升降台下板31上，所述的谐波减速器29安装在减速器座28上，所述的滚珠丝杠系统32通过谐波减速器29与伺服电机30连接，所述的Z轴光栅尺座25安装在升降台下板31上面，所述的Z轴光栅尺24安装在Z轴光栅尺座25上。

全文数据：一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置技术领域[0001]本发明涉及一种超精密六自由度五轴运动装置，属于光学调整及检测技术领域。背景技术[0002]随着我国科技不断的发展，超精密学科在高精尖行业的应用越来越广泛，而特别是多轴超精密运动台的应用与日倶增，例如小型转台的调节、超精密光路系统调试、核能应用、晶片检测、基因序列的检测等，都需要使用超精密多轴调整台，机械关节臂从刚度、精度上来看都已经无法满足一些特殊行业的需求，而传统的纯机械式调整台的速度和变速运动都无法实现相应的功能。发明内容[0003]本发明的目的是为解决上述技术问题，提供一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置。[0004]本发明的目的是通过以下技术方案实现的：[0005]—种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，所述的装置包括底座组件、X轴气浮导轨、Y轴气浮导轨、Z轴精密升降台、Z轴精密旋转台、Θ轴三点调平台；所述的底座组件包括花岗岩底座、X轴光栅尺、两个X轴直线电机定子及八个X轴限位组件;所述的X轴气浮导轨包括Y轴光栅尺、X轴溜板、两个X轴直线电机线圈座、两个X轴直线电机线圈及四个Y轴限位组件;所述的Y轴气浮导轨包括Y轴溜板、两个Y轴直线电机线圈座及两个Y轴直线电机线圈；[0006]所述的X轴光栅尺及两个X轴直线电机定子均安装在花岗岩底座上面，所述的八个X轴限位组件安装在四个支座上，所述的四个支座呈矩形布置并固定在花岗岩底座上面，所述的两个X轴直线电机定子相对设置，所述的X轴光栅尺设置在两个X轴直线电机定子之间；[0007]所述的两个X轴直线电机线圈各通过一个X轴直线电机线圈座安装在X轴溜板上，所述的X轴溜板滑动设置在花岗岩底座上面，所述的四个Y轴限位组件安装在两个X轴直线电机线圈座上，工作时X轴溜板在X轴直线电机线圈的作用下实现往复运动，并通过八个X轴限位组件对X轴溜板机械位置进行限位，所述的Y轴光栅尺安装在X轴溜板上面；[0008]所述的两个Y轴直线电机线圈各通过一个Y轴直线电机线圈座安装在Y轴溜板上，所述的Y轴溜板滑动设置在X轴溜板上面；[0009]所述的Z轴精密升降台固定在两个Y轴直线电机线圈座上面，所述的Z轴精密旋转台安装在Z轴精密升降台上面，所述的Θ轴三点调平台安装在Z轴精密旋转台上面。[0010]本发明相对于现有技术的有益效果是：[0011]1、本发明采用UMAC运动控制器为外部控制元器件控制直驱电机，并使用光栅系统指X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现最终的精度要求，关键轴系附图2是X轴固定部分，附图3是X轴运动部分兼Y轴固定部分，附图4是Y轴运动部分X、Y的线型运动采用两个直线电机所以是龙门双驱形式成龙门电机双驱的方式，可以保证高速运动和频繁加减速运动，实现精确的位置步进和快速的响应，Z轴采用楔面式结构，实现微小距离的调节，Z旋转采用直驱电机配合精密轴承，并配合圆光栅，可达到±IOyrad定位精度，而Θ轴的调整（g卩Θ轴三点调平台，Θ轴是X和Y角度调整的综合采用史都华平台式的结构，球关节进行配研，通过手动调节达到±IOyrad的定位精度。[0012]2、本发明采用五轴六自由度超精密调节，可以进行插补式运动，也可以实现单轴调节。设备主体为花岗岩材料，设备刚度好，双电机驱动可以刹车定位精准，实现快速反应。[0013]3、本发明适宜于研究所、高校、高精尖企业的项目研发时，调整使用。附图说明[00M]图1为本发明的一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置的轴测图；[0015]图2为底座组件的轴测图；[0016]图3为X轴气浮导轨的轴测图；[0017]图4为Y轴气浮导轨的轴测图；[0018]图5为Z轴精密升降台的轴测图；[0019]图6为Z轴精密旋转台的轴测图；[0020]图7为Θ轴三点调平台的轴测图；[0021]图8为图1的A处局部放大图；[0022]图9为图1的B处局部放大图；[0023]图10为图2的C处局部放大图；[0024]图11为图3的D处局部放大图；[0025]图12为图5的E处局部放大图；[0026]图13为图6的F处局部放大图；[0027]图14为图7的G处局部放大图；[0028]图15为图7的H处局部放大图。[0029]图中各部件名称及标号如下：[0030]底座组件1、X轴气浮导轨2、Y轴气浮导轨3、Z轴精密升降台4、Z轴精密旋转台5、θ轴三点调平台6、Χ轴直线电机定子7、花岗岩底座8、Χ轴限位组件9、Χ轴光栅尺10、Υ轴限位组件114轴直线电机线圈座124轴直线电机线圈13、¥轴光栅尺144轴溜板15、¥轴溜板16、¥轴直线电机线圈座17、Υ轴直线电机线圈18、升降台上板19、上交叉滚柱导轨20、楔形块21、导柱22、自润滑直线轴承23、Ζ轴光栅尺24、Ζ轴光栅尺座25、直线轴承座26、下交叉滚柱导轨27、减速器座28、谐波减速器29、伺服电机30、升降台下板31、滚珠丝杠系统32、旋转台上板33、压圈34、角接触轴承35、隔圈36、旋转台下板37、旋转轴38、直驱旋转电机39、电机压圈40、圆光栅41、读数头42、读数头座43、旋转台上板44、弹簧导柱座45、弹簧46、弹簧导柱47、L型连接板48、球关节凹面49、球关节凸面50、差动测微头51、差动测微头座52、旋转台下板53〇具体实施方式[0031]下面结合附图对本发明的技术方案作进一步的说明，但并不局限于此，凡是对本发明技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的保护范围中。[0032]具体实施方式一：如图1-图4、图8-图11所不，本实施方式披露了一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，所述的装置包括底座组件1、X轴气浮导轨2、Y轴气浮导轨3、Ζ轴精密升降台4、Ζ轴精密旋转台5、θ轴三点调平台6;所述的底座组件1包括花岗岩底座8、Χ轴光栅尺10、两个X轴直线电机定子7及多个X轴限位组件9;所述的X轴气浮导轨2包括Y轴光栅尺14、Χ轴溜板15、两个X轴直线电机线圈座12、两个X轴直线电机线圈13及四个Y轴限位组件11;所述的Y轴气浮导轨3包括Y轴溜板16、两个Y轴直线电机线圈座17及两个Y轴直线电机线圈18;[0033]所述的八个X轴限位组件9安装在四个支座上，所述的四个支座呈矩形布置并固定在花岗岩底座8上面，所述的两个X轴直线电机定子7相对设置，所述的X轴光栅尺10设置在两个X轴直线电机定子7之间；[0034]所述的两个X轴直线电机线圈13各通过一个X轴直线电机线圈座12安装在X轴溜板15上，所述的X轴溜板15滑动设置在花岗岩底座8上面，所述的四个Y轴限位组件11安装在两个X轴直线电机线圈座12上，工作时X轴溜板15在X轴直线电机线圈13的作用下实现往复运动，并通过八个X轴限位组件9对X轴溜板15机械位置进行限位，所述的Y轴光栅尺14安装在X轴溜板15上面；[0035]所述的两个Y轴直线电机线圈18各通过一个Y轴直线电机线圈座17安装在Y轴溜板16上（工作原理与X轴相同），所述的Y轴溜板16滑动设置在X轴溜板15上面X轴溜板15同时也是Y轴的导轨座，起到节省空间的作用）；[0036]所述的Z轴精密升降台4固定在两个Y轴直线电机线圈座17上面，所述的Z轴精密旋转台5安装在Z轴精密升降台4上面，所述的Θ轴三点调平台6安装在Z轴精密旋转台5上面。[0037]具体实施方式二：如图5、图12所示，本实施方式是对具体实施方式一作出的进一步说明，所述的Z轴精密升降台4包括升降台上板19、上交叉滚柱导轨20、楔形块21、Ζ轴光栅尺24、Ζ轴光栅尺座25、下交叉滚柱导轨27、减速器座28、谐波减速器29、伺服电机30、升降台下板31、滚珠丝杠系统32、四个导柱22、四个自润滑直线轴承23及四个直线轴承座26;[0038]所述的楔形块21通过上交叉滚柱导轨20、下交叉滚柱导轨27分别与升降台上板19、升降台下板31相连接，所述的滚珠丝杠系统32与楔形块21紧固连接，所述的四个直线轴承座26安装在升降台下板31上面，每个所述的直线轴承座26上面均安装有一个所述的自润滑直线轴承23,安装在所述的升降台上板19下面的四个导柱22与四个自润滑直线轴承23做相对运动，所述的减速器座28安装在升降台下板31上，所述的谐波减速器29安装在减速器座28上，所述的滚珠丝杠系统32通过谐波减速器29与伺服电机30连接，所述的Z轴光栅尺座25安装在升降台下板31上面，所述的Z轴光栅尺24安装在Z轴光栅尺座25上。[0039]伺服电机30带动滚珠丝杠系统32产生旋转运动，滚珠丝杠系统32将该运动转换为直线运动并带动楔形块21—起做直线运动（为水平直线运动），上交叉滚柱导轨20、下交叉滚柱导轨27在四个自润滑直线轴承23的作用下将水平直线运动转换为更加精密的竖直直线运动。上交叉滚柱导轨20和下交叉滚柱导轨2均为外购件。[0040]具体实施方式三:如图6、图13所示，本实施方式是对具体实施方式一或二作出的进一步说明，所述的Z轴精密旋转台5包括旋转台上板33、压圈34、隔圈36、旋转台下板37、旋转轴38、直驱旋转电机39、电机压圈40、圆光栅41、读数头42、读数头座43及两个角接触轴承35；[0041]所述的旋转台下板37固定在Z轴精密升降台4上面，所述的旋转台上板33下端设置在旋转台下板37内，旋转台上板33与旋转台下板37之间装有两个角接触轴承35,所述的两个角接触轴承35之间通过隔圈36隔开，旋转台下板37通过两个角接触轴承35、隔圈36与旋转台上板33做对向旋转运动，所述的压圈34设置在旋转台下板37与旋转台上板33之间，压圈34将角接触轴承35压紧，所述的旋转轴38安装在旋转台上板33上端内表面中部，所述的直驱旋转电机39安装在旋转台下板37上，直驱旋转电机39通过电机压圈40旋转轴38转动，从而带动旋转台上板33转动，所述的圆光栅41安装在电机压圈40上，所述的读数头42通过读数头座43与旋转台下板37固定连接读数头42随时将圆光栅41上的位置信息反馈出来，做到精密控制）。[0042]具体实施方式四：如图7、图14、图15所示，本实施方式是对具体实施方式一作出的进一步说明，所述的Θ轴三点调平台6采用史都华平台式结构包括旋转台上板44、旋转台下板53、三个弹簧导柱座45、三个弹簧46、三个弹簧导柱47、六个L型连接板48、三个球关节凹面49、三个球关节凸面50、三个差动测微头51及三个差动测微头座52;[0043]所述的六个L型连接板48设置在旋转台下板53外周边并均与旋转台下板53固定连接，其中相隔的三个L型连接板48上均安装有弹簧导柱座45,每个所述的弹簧导柱座45内均穿入一个弹簧导柱47,所述的三个弹簧导柱47上端均与旋转台上板44下面固定连接，每个弹簧导柱47上位于弹簧导柱座45下方均套装有弹簧46,弹簧导柱47通过弹簧46与弹簧导柱座45实现柔性连接这三个弹簧导柱47主要目的为实现其该机构的精密压紧并消除反向间隙），所述的三个差动测微头座52固定在另外三个L型连接板48上，每个所述的差动测微头座52上安装有一个差动测微头51，所述的三个球关节凹面49与三个球关节凸面50—一对应设置，每个所述的球关节凹面49与对应的球关节凸面50相配合（为配研的球关节，精度极高），三个球关节凹面49均与旋转台上板44下表面固定连接，所述的三个球关节凸面50与三个差动测微头51—一对应，每个球关节凸面50与对应的差动测微头51固定连接通过调节三个差动测微头51，该装置实现三点调平）。[0044]工作原理：[0045]将底座1安装在需要使用的平台上，在需要进行高频运动的工况当中，先将Θ轴三点调平台6进行调平，旋转台下板53为固定部分，六个L型连接板48与其固定连接，其中相隔的三个L型连接板48上安装着弹簧导柱座45，弹簧导柱47通过弹簧46与弹簧导柱座45实现柔性连接，弹簧导柱47同时安装在旋转台上板44上，这三个弹簧导柱47主要目的为实现其该机构的精密压紧并消除反向间隙，差动测微头座52固定在另外三个L型连接板48上，差动测微头51安装在差动测微头座52上，球关节凹面49与球关节凸面50为配研的球关节，精度极高，球关节凹面49与旋转台上板44固定连接，球关节凸面50与差动测微头51固定连接，通过调节三个差动测微头51，该装置实现三点调平。[0046]再操作Z轴精密旋转台5进行Z向角度的调整，Z轴精密旋转台5的主要工作为带动Θ轴三点调平台6旋转，其工作原理为旋转台下板37固定在Z轴精密升降台4上面，旋转台下板37通过角接触轴承35、隔圈36与旋转台上板33做对向旋转运动，压圈34将角接触轴承35压紧，旋转轴38安装在旋转台上板33上，直驱旋转电机39安装旋转台下板37上，并通过电机压圈40带动旋转台上板33做旋转运动，圆光栅41安装在电机压圈40上，读数头42通过读数头座43与旋转台下板37固定，读数头42随时将圆光栅41上的位置信息反馈出来，做到精密控制。[0047]之后根据标高和检测，对Z轴精密升降台4进行微调，Z轴精密升降台4的工作原理为:楔形块21通过上交叉滚柱导轨20、下交叉滚柱导轨27分别与升降台上板19、升降台下板31相连接，滚珠丝杠系统32与楔形块21紧固连接。四个直线轴承座26安装在升降台下板31上面，四个自润滑直线轴承23安装在四个直线轴承座26上，安装在升降台上板19上的的导柱22与自润滑直线轴承23做相对运动，减速器座28安装在升降台下板31上，谐波减速器29安装在减速器座28上，并与伺服电机30连接在一起，伺服电机30带动滚珠丝杠系统32产生旋转运动，滚珠丝杠系统32将该运动转换为直线运动并带动楔形块21—起做直线运动，上交叉滚柱导轨20、下交叉滚柱导轨27在四个自润滑直线轴承23的作用下将水平直线运动转换为更加精密的竖直直线运动，Z轴光栅尺24通过安装在升降台下板31上的Z轴光栅尺座25固定不动，并随时反馈位置信息。[0048]待这四个自由度都调整完毕之后，可以分别控制X轴气浮导轨2和Y轴气浮导轨3进行高频变速运动，高频运动时X轴气浮导轨2和Y轴气浮导轨3可以分别进行1.4g加速度220mms的反复起停运动。[0049]在进行插补算法的运动时，可以先将Θ轴三点调平台6进行手动调平，再操作Z轴精密旋转台5、Z轴精密升降台4、X轴气浮导轨2和Y轴气浮导轨3进行联动，达到快速响应精确定位要求，此时X轴气浮导轨2和Y轴气浮导轨3可以分别进行Ig加速度350mms的速度进行快速响应运动。[0050]底座1上，X轴直线电机定子7、X轴限位组件9有螺栓和螺母组合构成）、X轴光栅尺10均安装在花岗岩底座8上面。X轴直线电机线圈13通过X轴直线电机线圈座12安装在X轴溜板15上，工作时X轴溜板15在X轴直线电机线圈13的作用下实现往复运动，X轴限位组件9对机械位置进行限位。X轴溜板15同时也是Y轴的导轨座，起到节省空间的作用，Y轴直线电机线圈18通过Y轴直线电机线圈座17安装在Y轴溜板16上，工作原理与X轴相同。[0051]所有的X轴限位组件9和Y轴限位组件11均采用德国FESTO生产的产品。[0052]参数[0053]

权利要求：1.一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，其特征在于:所述的装置包括底座组件⑴、X轴气浮导轨2、Y轴气浮导轨3、Z轴精密升降台⑷、Z轴精密旋转台⑸、Θ轴三点调平台（6;所述的底座组件⑴包括花岗岩底座⑻、X轴光栅尺10、两个X轴直线电机定子⑺及八个X轴限位组件9;所述的X轴气浮导轨2包括Y轴光栅尺14、X轴溜板15、两个X轴直线电机线圈座（12、两个X轴直线电机线圈（13及四个Y轴限位组件11;所述的Y轴气浮导轨3包括Y轴溜板16、两个Y轴直线电机线圈座（17及两个Y轴直线电机线圈（18;所述的X轴光栅尺10及两个X轴直线电机定子7均安装在花岗岩底座8上面，所述的八个X轴限位组件9安装在四个支座上，所述的四个支座呈矩形布置并固定在花岗岩底座⑻上面，所述的两个X轴直线电机定子⑺相对设置，所述的X轴光栅尺10设置在两个X轴直线电机定子⑺之间；所述的两个X轴直线电机线圈（13各通过一个X轴直线电机线圈座（12安装在X轴溜板15上，所述的X轴溜板15滑动设置在花岗岩底座⑻上面，所述的四个Y轴限位组件（11安装在两个X轴直线电机线圈座（12上，工作时X轴溜板（15在X轴直线电机线圈（13的作用下实现往复运动，并通过八个X轴限位组件9对X轴溜板15机械位置进行限位，所述的Y轴光栅尺14安装在X轴溜板15上面；所述的两个Y轴直线电机线圈（18各通过一个Y轴直线电机线圈座（17安装在Y轴溜板16上，所述的Y轴溜板16滑动设置在X轴溜板15上面；所述的Z轴精密升降台（4固定在两个Y轴直线电机线圈座（17上面，所述的Z轴精密旋转台（5安装在Z轴精密升降台（4上面，所述的Θ轴三点调平台（6安装在Z轴精密旋转台⑸上面。2.根据权利要求1所述的一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，其特征在于:所述的Z轴精密升降台（4包括升降台上板（19、上交叉滚柱导轨20、楔形块21、Z轴光栅尺24、Z轴光栅尺座25、下交叉滚柱导轨27、减速器座28、谐波减速器29、伺服电机30、升降台下板31、滚珠丝杠系统32、四个导柱22、四个自润滑直线轴承23及四个直线轴承座26;所述的楔形块21通过上交叉滚柱导轨20、下交叉滚柱导轨27分别与升降台上板19、升降台下板31相连接，所述的滚珠丝杠系统32与楔形块21紧固连接，所述的四个直线轴承座26安装在升降台下板31上面，每个所述的直线轴承座26上面均安装有一个所述的自润滑直线轴承23，安装在所述的升降台上板19下面的四个导柱22与四个自润滑直线轴承（23做相对运动，所述的减速器座（28安装在升降台下板31上，所述的谐波减速器29安装在减速器座28上，所述的滚珠丝杠系统32通过谐波减速器29与伺服电机30连接，所述的Z轴光栅尺座25安装在升降台下板31上面，所述的Z轴光栅尺24安装在Z轴光栅尺座25上。3.根据权利要求1或2所述的一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，其特征在于:所述的Z轴精密旋转台⑸包括旋转台上板33、压圈（34、隔圈（36、旋转台下板37、旋转轴38、直驱旋转电机39、电机压圈40、圆光栅41、读数头42、读数头座43及两个角接触轴承35;所述的旋转台下板37固定在Z轴精密升降台（4上面，所述的旋转台上板33下端设置在旋转台下板（37内，旋转台上板（33与旋转台下板（37之间装有两个角接触轴承35，所述的两个角接触轴承35之间通过隔圈（36隔开，旋转台下板37通过两个角接触轴承35、隔圈（36与旋转台上板33做对向旋转运动，所述的压圈（34设置在旋转台下板37与旋转台上板33之间，压圈（34将角接触轴承35压紧，所述的旋转轴38安装在旋转台上板33上端内表面中部，所述的直驱旋转电机39安装在旋转台下板37上，直驱旋转电机39通过电机压圈40旋转轴38转动，从而带动旋转台上板33转动，所述的圆光栅41安装在电机压圈40上，所述的读数头42通过读数头座43与旋转台下板37固定连接。4.根据权利要求1所述的一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，所述的9轴三点调平台⑹包括旋转台上板44、旋转台下板53、三个弹簧导柱座45、三个弹簧46、三个弹簧导柱47、六个L型连接板48、三个球关节凹面49、三个球关节凸面50、三个差动测微头51及三个差动测微头座52;所述的六个L型连接板48设置在旋转台下板53外周边并均与旋转台下板53固定连接，其中相隔的三个L型连接板48上均安装有弹簧导柱座45，每个所述的弹簧导柱座45内均穿入一个弹簧导柱47，所述的三个弹簧导柱47上端均与旋转台上板44下面固定连接，每个弹簧导柱（47上位于弹簧导柱座（45下方均套装有弹簧（46，弹簧导柱47通过弹簧46与弹簧导柱座45实现柔性连接，所述的三个差动测微头座52固定在另外三个L型连接板48上，每个所述的差动测微头座52上安装有一个差动测微头51，所述的三个球关节凹面49与三个球关节凸面50—一对应设置，每个所述的球关节凹面49与对应的球关节凸面50相配合，三个球关节凹面49均与旋转台上板44下表面固定连接，所述的三个球关节凸面（50与三个差动测微头（51—一对应，每个球关节凸面50与对应的差动测微头51固定连接。

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