申请/专利权人：联芯集成电路制造(厦门)有限公司

申请日：2019-07-11

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN112207634A

主分类号：B24B1/00(20060101)

分类号：B24B1/00(20060101);B24B37/20(20120101);B24B37/34(20120101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.01.29#实质审查的生效;2021.01.12#公开

摘要：本发明公开一种在线检测抛光垫下方气泡的方法，包括：将一抛光垫粘贴在一化学机械抛光机台的一基座上；进行一抛光垫磨合制作工艺，利用一调节盘研磨所述抛光垫，其中所述调节盘耦合一垫高度感应装置；以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中，以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化，其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值，将所述抛光垫从所述基座上剥离，再另粘贴一抛光垫。

主权项：1.一种在线检测抛光垫下方气泡的方法，其特征在于：将抛光垫粘贴在化学机械抛光机台的基座上；进行抛光垫磨合制作工艺，利用调节盘研磨所述抛光垫，其中所述调节盘耦合垫高度感应装置；以及在所述抛光垫磨合制作工艺过程中，以所述垫高度感应装置监测所述调节盘的高度变化，其中当所述调节盘的高度变化超过一预定值，将所述抛光垫从所述基座上剥离，再另粘贴一抛光垫。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 在线检测抛光垫下方气泡的方法

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