申请/专利权人：欧姆龙株式会社

申请日：2017-08-18

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN109642917B

主分类号：G01R1/067(20060101)

分类号：G01R1/067(20060101);G01R1/073(20060101);H01R13/24(20060101);H01R33/76(20060101)

优先权：["20160921 JP 2016-184838"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.12#授权;2019.05.10#实质审查的生效;2019.04.16#公开

摘要：探针具有：板状的可动针20，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部21、及分别设置于弹性部21的长边方向的两端部的第1触点部22和第2触点部23；以及导通路径形成构件30，其被配置成在可动针20的板厚方向上重叠。导通路径形成构件30在长边方向的两端部分别具有与第1触点部22和第2触点部23分别接触的第1接触面36和第2接触面37，可动针20和导通路径形成构件30分别维持第1触点部22与第1接触面36的接触和第2触点部23与第2接触面37的接触，并且被配置成能够沿着长边方向相对移动。

主权项：1.一种探针，该探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动，在所述可动针的所述第1触点部设置有引导孔部，该引导孔部在所述长边方向上延伸，并且在板厚方向上贯通所述可动针，在所述导通路径形成构件的第1接触面侧的端部设置有引导部，该引导部位于所述引导孔部，并且能够沿着所述引导孔部的延伸方向移动。

全文数据：探针和检查单元技术领域本发明涉及探针和使用该探针的检查单元。背景技术在半导体等一般的电子部件中，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用呈矩阵状收纳探针的检查单元，连接半导体封装的电极部和检查装置，由此进行这些检查。作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有：沿着长边方向分别独立设置且相互隔开间隔配置的固定部和可动部；以及连结固定部和可动部的蛇腹体。而且，在可动部的宽度方向的一端部设置可动接触片，该可动接触片沿着蛇腹体在长边方向上延伸且能够与固定部接触，可动部和固定部经由该可动接触片电连接。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第5699899号公报发明内容发明要解决的课题近年来，伴随着电子部件模块的小型化，还要求检查中使用的检查单元的各探针的小型化、以及各探针的排列的窄间距化。在所述探针中，在可动部的宽度方向上设置有可动接触片，因此，在所述探针的宽度方向上隔开规定的间隔排列多个所述探针的情况下，很难使相邻的所述探针间的宽度方向的间隔以一定以上程度变窄，有时无法实现排列的窄间距化。因此，本发明的课题在于，提供能够实现排列的窄间距化的探针和检查单元。用于解决课题的手段本发明的一个方式的探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。例如，导通路径形成构件呈细长的板状或棒状。此外，本发明的检查单元具有：所述探针；以及外壳，其具有收纳部，该收纳部以所述可动针的所述第1触点部的一部分和所述第2触点部的一部分位于外部的状态收纳所述探针，并且将所述可动针和所述导通路径形成构件支承为能够沿着所述长边方向相对移动。发明效果根据所述方式的探针，具有板状的可动针以及被配置成在该可动针的板厚方向上重叠的导通路径形成构件。由此，通过可动针的宽度方向尺寸确定探针的宽度方向尺寸，因此，能够实现探针的宽度方向上的小型化，在宽度方向上排列多个探针的情况下，也能够实现排列的窄间距化。此外，根据本发明的检查单元，通过多个所述探针，能够实现排列的窄间距化。附图说明图1是具有本发明的第1实施方式的探针的检查单元的立体图。图2是本发明的第1实施方式的探针的立体图。图3是图2的探针的可动针的立体图。图4是图2的探针的导通路径形成构件的立体图。图5是沿着图1的V-V线的剖视图。图6是图1的检查单元的VI向视图。图7是图1的检查单元的VII向视图。图8是示出图2的探针的导通路径形成构件的另一例的局部放大立体图。图9是具有本发明的第2实施方式的探针的检查单元的立体图。图10是本发明的第2实施方式的探针的立体图。图11是图10的探针的可动针的立体图。图12是图10的探针的导通路径形成构件的立体图。图13是沿着图9的XIII-XIII线的剖视图。图14是图9的检查单元的XIV向视图。图15是图9的检查单元的XV向视图。图16是具有本发明的第3实施方式的探针的检查单元的立体图。图17是本发明的第3实施方式的探针的立体图。图18是图17的探针的导通路径形成构件的立体图。图19是沿着图16的XX-XX线的剖视图。图20是图16的检查单元的XXI向视图。图21是图16的检查单元的XXII向视图。具体实施方式下面，按照附图对本发明的一个实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定方向或位置的用语例如包含“上”、“下”、“右”、“左”、“侧”、“端”的用语，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解发明，本发明的技术范围不由这些用语的意思进行限定。此外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本发明及其应用物或其用途。而且，附图是示意性的，各尺寸的比率等不是必须与现实一致。第1实施方式例如如图1所示，本发明的第1实施方式的探针10以收纳于外壳2中的状态进行使用，与外壳2一起构成检查单元1。在该检查单元1中，作为一例，收纳有4个探针10。如图2所示，各探针10具有可动针20和导通路径形成构件30。可动针20和导通路径形成构件30分别构成为细长的薄板状，例如通过电铸法形成，具有导电性。如图3所示，可动针20具有：沿着长边方向伸缩的弹性部21；以及串联设置于该弹性部21的长边方向的两端部的第1触点部22和第2触点部23。该可动针20相对于宽度方向的中心线对称设置。另外，在图3中，省略弹性部21的中间部的一部分。从板面观察时，弹性部21呈蛇行形状。该弹性部21是连接多个蛇行部而构成的，一个蛇行部由向可动针20的宽度方向下侧突出的第1弯曲部211、从第1弯曲部211的一端起在可动针20的宽度方向上延伸的直线部212、不与第1弯曲部211连结且从直线部212的一端向可动针20的宽度方向上侧突出的第2弯曲部213构成。即，从第1触点部22的宽度方向的中心到第2触点部23的宽度方向的中心，第1弯曲部211、直线部212和第2弯曲部213按照第1弯曲部211、直线部212、第2弯曲部213的顺序沿着可动针20的长边方向反复并排配置。另外，弹性部21具有与第1触点部22和第2触点部23的后述的宽幅部231相同或比其小的宽度方向尺寸。第1触点部22呈具有大致相同的宽度方向尺寸的大致矩形的板状，第1触点部22在长边方向的一端部即图3的右侧的端部连接有弹性部21，在长边方向的另一端部即图3的左侧的端部设置有前端变窄的形状的第1触点251。此外，在第1触点部22的板面设置有在板厚方向上贯通第1触点部22的细长矩形的引导孔部24。该引导孔部24沿着第1触点部22的长边方向即探针10的长边方向从第1触点251的附近延伸到第1触点部22的长边方向的大致中央部。第2触点部23呈大致矩形的板状，在长边方向的一端部即图3的左侧的端部连接有弹性部21，在长边方向的另一端部即图3的右侧的端部设置有从板面观察时呈大致V字形状的第2触点252。该第2触点部23由连接有弹性部21的宽幅部231、以及设置有第2触点252且宽度方向尺寸比宽幅部231的宽度方向尺寸小的窄幅部232构成，在宽幅部231与窄幅部232的边界形成有阶梯部233。另外，宽幅部231具有与第1触点部22大致相同的宽度方向尺寸。如图2所示，导通路径形成构件30被配置成在可动针20的板厚方向上重叠，使可动针20的第1触点部22和第2触点部23电连接。详细地讲，如图4所示，导通路径形成构件30由一对脚部31、32构成，这一对脚部31、32能够向彼此分离的方向挠曲，并且分别重叠在可动针20的板厚方向的不同面上。该导通路径形成构件30相对于宽度方向的中心线对称设置，如图5所示，从可动针20的板厚方向观察，具有比可动针20的宽度方向尺寸即弹性部21、第1触点部22和第2触点部23的宽幅部231的宽度方向尺寸小的短边方向尺寸。另外，在图4中，省略一对脚部31、32的中间部的一部分。在一对脚部31、32的长边方向的一端部即图4的右侧的端部分别设置有向彼此接近的方向突出的一对突出部33、34。如图7所示，一对突出部33、34分别在板厚方向上夹持可动针20的第2触点部23。此外，在一对脚部31、32的长边方向的另一端部即图4的左侧的端部设置有引导部35。引导部35连结一对脚部31、32的长边方向的另一端部，并且位于可动针20的第1触点部22的引导孔部24，能够在引导孔部24的延伸方向即探针10的长边方向上移动。如图2所示，一对脚部31、32的引导部35侧的相互对置的面构成与可动针20的第1触点部22的板面接触的第1接触面36。此外，一对突出部33、34分别构成其突出方向的末端面图2中仅示出一对突出部33的末端面与可动针20的第2触点部23接触的第2接触面37。即，可动针20和导通路径形成构件30维持可动针20的第1触点部22与导通路径形成构件30的第1接触面的接触以及可动针20的第2触点部23与导通路径形成构件30的第2接触面的接触双方，并且被配置成能够沿着探针10的长边方向相对移动。接着，参照图1和图5～图7对在外壳2内收纳有4个探针10的检查单元1进行说明。另外，图1和图4示出未对可动针20的第1触点251和第2触点252施加力的状态即恢复状态。如图5所示，外壳2具有分别收纳探针10的4个收纳部3在图5中仅示出2个。如图1所示，在VI向视图即从图5的上侧观察的俯视图中，各收纳部3以位于正方形的各顶点的方式相互并列配置。此外，如图6和图7所示，各收纳部3由在长边方向的两端分别具有开口部4、5的大致圆柱形状的空间构成。详细地讲，如图5所示，各收纳部3由从图5的外壳2的下端的开口部4延伸到外壳2的上端附近的大径部6、以及从该大径部6进一步向上侧延伸且直径比大径部6的直径小的小径部7构成。在大径部6与小径部7的边界形成有环状阶梯部8。在各收纳部3内，以如下状态收纳有一个探针10：该探针10的两端部的第1触点251和第2触点252从各收纳部3的各个开口部4、5位于外部。即，各收纳部3以可动针20的第1触点部22的一部分和第2触点部23的一部分位于外部的状态收纳一个探针10。此外，探针10通过收纳部3被支承为可动针20和导通路径形成构件30能够沿着探针10的长边方向相对移动。如图6所示，各收纳部3的第1触点部22侧的开口部4呈直径比可动针20和导通路径形成构件30的宽度方向尺寸大的圆形状。此外，如图7所示，各收纳部3的第2触点部23侧的开口部5呈如下的圆形状：直径比可动针20的第2触点部23的窄幅部232大且比宽幅部231小，而且比可动针20的第2触点部23的厚度方向尺寸和导通路径形成构件30的一对脚部31、32的厚度方向尺寸的合计值小。接着，对收纳于外壳2内的各探针10的动作进行说明。对图5所示的恢复状态的各探针10的第1触点251施加力，将可动针20的第1触点部22推入到外壳2内。于是，各探针10的可动针20的第2触点部23的阶梯部233与对应的收纳部3的环状阶梯部8抵接，弹性部21被压缩直至第1触点部22的第1触点251大体被收纳于收纳部3内，成为动作状态未图示。此时，导通路径形成构件30的引导部35以一对突出部33、34夹持可动针20的第2触点部23的状态、即维持第1触点部22与第1接触面36的接触和第2触点部23与第2接触面37的接触的状态，沿着可动针20的第1触点部22的引导孔部24向接近可动针20的第1触点251的方向相对移动。此外，在动作状态的检查单元1中，当释放对各探针10的可动针20的第1触点部22施加的力时，通过被压缩的弹性部21对第1触点部22朝向收纳部3的外侧施力，各探针10恢复成图5所示的恢复状态。此时，导通路径形成构件30的引导部35以一对突出部33、34夹持可动针20的第2触点部23的状态、即维持第1触点部22与第1接触面36的接触和第2触点部23与第2接触面37的接触的状态，沿着可动针20的第1触点部22的引导孔部24向与可动针20的第1触点251分离的方向相对移动。在第1实施方式的探针10中，具有板状的可动针20、以及被配置成在该可动针20的板厚方向上重叠的导通路径形成构件30。由此，通过可动针20的宽度方向尺寸确定探针10的宽度方向尺寸，因此，能够实现探针10的宽度方向上的小型化，在宽度方向上排列多个探针10的情况下，也能够实现排列的窄间距化。此外，在可动针20的第1触点部22设置有引导孔部24，该引导孔部24在探针10的长边方向上延伸，并且在板厚方向上贯通可动针20，在导通路径形成构件30的与第1触点部22接触的一侧即第1接触面侧的端部设置有引导部35，该引导部35位于引导孔部24，并且能够沿着引导孔部24的延伸方向移动。由此，引导部35能够与引导孔部24卡合而沿着引导孔部24的延伸方向顺畅地移动，因此，能够顺畅地进行可动针20与导通路径形成构件30之间的相对移动。此外，导通路径形成构件30由一对脚部31、32构成，可动针20的第2触点部23由分别设置于探针10的长边方向的一端部的一对突出部33、34夹持成能够移动。由此，在可动针20的移动过程中，也能够通过一对突出部33、34可靠地维持与可动针20的第2触点部23之间的接触状态，能够提高可动针20与导通路径形成构件30之间的接触可靠性。但是，一般而言，当使探针的排列窄间距化时，从成型性的观点来看，检查单元的收纳探针的收纳部构成大致圆柱状的空间，被形成为所收纳的探针的沿着短边方向的截面呈大致圆形状。如图6和图7所示，在探针10的沿着短边方向的剖视图中，可动针20的宽度方向的尺寸大于板厚方向的尺寸。因此，例如，当在宽度方向上配置导通路径形成构件30时，在将探针10收纳于剖视为圆形状的收纳部3内的情况下，在板厚方向形成较大的死区。在第1实施方式的检查单元1中，探针10被配置成在可动针20的板厚方向上重叠导通路径形成构件30，因此，在将探针10收纳于收纳部3内时，不会形成前述那种死区。因此，能够实现排列的窄间距化。另外，可动针20的第1触点部22的引导孔部24不限于从第1触点部22的长边方向的大致中央部延伸到第1触点251的附近的情况。例如如图8所示，引导孔部24也可以从第1触点部22的长边方向的大致中央部延伸到第1触点251。通过这样设置引导孔部24，容易进行可动针20与导通路径形成构件30的组合，能够提高探针10的组装性。此外，导通路径形成构件30不限于由一对脚部31、32构成的情况，例如，也可以省略一对脚部31、32中的任意一方。此外，检查单元1的收纳部3以可动针20的第1触点部22的一部分即第1触点251和第2触点部23的一部分即第2触点252位于外部的状态收纳探针10，并且将可动针20和导通路径形成构件30支承为能够沿着长边方向相对移动即可，能够采用具有任意形状和构造的收纳部。第2实施方式如图9～图15所示，本发明的第2实施方式的探针110与第1实施方式的不同之处在于，具有未在第1触点部22设置有引导孔部的可动针120、以及呈在探针110的长边方向上延伸的板状的导通路径形成构件130。另外，在第2实施方式中，对与第1实施方式相同的部分标注相同参照标号并省略说明，对与第1实施方式不同之处进行说明。此外，在图11中，省略弹性部21的中间部的一部分，在图12中，省略导通路径形成构件130的中间部的一部分。如图12所示，导通路径形成构件130由相互独立且具有相同形状的一对长条板构件131、132构成。如图13所示，从可动针120的板厚方向观察，各长条板构件131、132具有比可动针120的宽度方向尺寸即弹性部21、第1触点部22和第2触点部23的宽幅部231的宽度方向尺寸小的短边方向尺寸。各长条板构件131、132在其长边方向的两端部分别设置有朝向可动针120的板面突出的突出部133、134。各长条板构件131、132的一端部的突出部133的与可动针120的第1触点部22对置的面构成第1接触面36，各长条板构件131、132的另一端部的突出部134的与可动针120的第2触点部23对置的面构成第2接触面37。这样，在第2实施方式的探针110中，导通路径形成构件130呈在长边方向上延伸的板状，在探针110的长边方向的两端部分别设置有朝向可动针120突出的突出部133、134。由此，能够通过简单的结构实现探针10的小型化。另外，导通路径形成构件130不限于由一对长条板构件131、132构成的情况，例如，也可以省略一对长条板构件131、132中的任意一方。第3实施方式如图16～图21所示，本发明的第3实施方式的探针210与第2实施方式的不同之处在于，具有呈在探针210的长边方向上延伸的棒状的导通路径形成构件330。另外，在第3实施方式中，对与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标注相同参照标号并省略说明，对与第1实施方式和第2实施方式不同之处进行说明。如图18所示，导通路径形成构件330由相互独立且具有相同形状的一对长条棒构件331、332构成。如图19所示，从可动针120的板厚方向观察，各长条棒构件331、332具有比可动针120的宽度方向尺寸即弹性部21、第1触点部22和第2触点部23的宽幅部231的宽度方向尺寸小的短边方向尺寸。各长条棒构件331、332在其长边方向的两端部分别具有与第1触点部22和第2触点部23分别接触的第1接触面36和第2接触面37。此外，如图20所示，导通路径形成构件330的中间部333向与可动针120分离的方向弯曲。这样，在第3实施方式的探针210中，导通路径形成构件330呈在长边方向上延伸的棒状。由此，能够通过简单的结构实现探针210的小型化。此外，导通路径形成构件330的中间部333向与可动针120分离的方向弯曲，因此，在将各探针210收纳于检查单元1的对应的收纳部3内时，能够提高导通路径形成构件330相对于可动针120的接触压。由此，能够提高可动针120与导通路径形成构件330之间的接触可靠性。另外，导通路径形成构件330不限于由一对长条棒构件331、332构成的情况，例如，也可以省略一对长条棒构件331、332中的任意一方。以上参照附图详细说明了本发明中的各种实施方式，但是，最后，对本发明的各种方式进行说明。本发明的第1方式的探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、和分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。根据第1方式的探针，具有板状的可动针以及被配置成在该可动针的板厚方向上重叠的导通路径形成构件。由此，通过可动针的宽度方向尺寸确定探针的宽度方向尺寸，因此，能够实现探针的宽度方向上的小型化，在宽度方向上排列多个探针的情况下，也能够实现排列的窄间距化。在本发明的第2方式的探针中，在所述可动针的所述第1触点部设置有引导孔部，该引导孔部在所述长边方向上延伸，并且在板厚方向上贯通所述可动针，在所述导通路径形成构件的第1接触面侧的端部设置有引导部，该引导部位于所述引导孔部，并且能够沿着所述引导孔部的延伸方向移动。根据第2方式的探针，引导部能够与引导孔部卡合而沿着引导孔部的延伸方向顺畅地移动，因此，能够顺畅地进行可动针与导通路径形成构件之间的相对移动。在本发明的第3方式的探针中，所述导通路径形成构件由能够向彼此分离的方向挠曲的一对脚部构成，在所述一对脚部的所述长边方向的一端部分别设置有一对突出部，这一对突出部向彼此接近的方向突出，并且构成所述第2接触面，在所述一对脚部的所述长边方向的另一端部设置有分别连结所述一对脚部的所述引导部，所述可动针的所述第2触点部以能够移动的方式被所述一对突出部夹持。根据第3方式的探针，在可动针的移动过程中，也能够通过一对突出部可靠地维持与可动针的第2触点部之间的接触状态，能够提高可动针与导通路径形成构件之间的接触可靠性。在本发明的第4方式的探针中，所述导通路径形成构件呈在所述长边方向上延伸的板状，在所述长边方向的两端部分别设置有朝向所述可动针突出的突出部，在所述突出部分别配置有所述第1接触面和所述第2接触面。根据第4方式的探针，能够通过简单的结构实现探针的小型化。在本发明的第5方式的探针中，所述导通路径形成构件呈在所述长边方向上延伸的棒状，所述导通路径形成构件的中间部向与所述可动针分离的方向弯曲。根据第5方式的探针，能够通过简单的结构实现探针的小型化。本发明的第6方式的检查单元具有：多个所述探针；以及外壳，其具有多个收纳部，这多个收纳部以所述可动针的所述第1触点部的一部分和所述第2触点部的一部分位于外部的状态收纳所述探针，并且将所述可动针和所述导通路径形成构件支承为能够沿着所述长边方向相对移动。根据第6方式的检查单元，能够通过多个所述探针实现排列的窄间距化。另外，通过适当组合所述各种实施方式或变形例中的任意实施方式或变形例，能够发挥各自所具有的效果。此外，能够进行实施方式彼此的组合或实施例彼此的组合或实施方式与实施例的组合，并且还能够进行不同实施方式或实施例中的特征彼此的组合。参照附图，与优选实施方式相关联地充分记载了本发明，但是，该技术熟练的人们明白各种变形和修正。应该理解到这种变形和修正只要不脱离基于所附权利要求书的本发明的范围则包含在其中。产业上的可利用性本发明的探针例如能够应用于照相机或液晶面板的检查中使用的检查单元。标号说明1检查单元2外壳3收纳部4、5开口部6大径部7小径部8环状阶梯部10、110、210探针20、120可动针21弹性部211第1弯曲部212直线部213第2弯曲部22第1触点部23第2触点部231宽幅部232窄幅部233阶梯部24引导孔部251第1触点252第2触点30、130、330导通路径形成构件31、32脚部33、34突出部35引导部36第1接触面37第2接触面131、132长条板构件133、134突出部331、332长条棒构件333中间部

权利要求：1.一种探针，该探针具有：板状的可动针，其具有沿着长边方向伸缩的弹性部、以及分别设置于所述弹性部的所述长边方向的两端部的第1触点部和第2触点部；以及导通路径形成构件，其沿着所述长边方向延伸，并且被配置成在所述可动针的板厚方向上重叠，并且使所述第1触点部和所述第2触点部彼此电连接，所述导通路径形成构件在所述长边方向的两端部分别具有与所述第1触点部和所述第2触点部分别接触的第1接触面和第2接触面，所述可动针和所述导通路径形成构件分别维持所述第1触点部与所述第1接触面的接触和所述第2触点部与所述第2接触面的接触，并且被配置成能够沿着所述长边方向相对移动。2.根据权利要求1所述的探针，其中，在所述可动针的所述第1触点部设置有引导孔部，该引导孔部在所述长边方向上延伸，并且在板厚方向上贯通所述可动针，在所述导通路径形成构件的第1接触面侧的端部设置有引导部，该引导部位于所述引导孔部，并且能够沿着所述引导孔部的延伸方向移动。3.根据权利要求2所述的探针，其中，所述导通路径形成构件由能够向彼此分离的方向挠曲的一对脚部构成，在所述一对脚部的所述长边方向的一端部分别设置有一对突出部，所述一对突出部向彼此接近的方向突出，并且构成所述第2接触面，在所述一对脚部的所述长边方向的另一端部设置有分别连结所述一对脚部的所述引导部，所述可动针的所述第2触点部以能够移动的方式被所述一对突出部夹持。4.根据权利要求1所述的探针，其中，所述导通路径形成构件呈在所述长边方向上延伸的板状，在所述长边方向的两端部分别设置有朝向所述可动针突出的突出部，所述第1接触面和所述第2接触面分别配置于所述突出部。5.根据权利要求1所述的探针，其中，所述导通路径形成构件呈在所述长边方向上延伸的棒状，所述导通路径形成构件的中间部向与所述可动针分离的方向弯曲。6.一种检查单元，该检查单元具有：多个权利要求1～5中的任意一项所述的探针；以及外壳，其具有多个收纳部，所述多个收纳部以所述可动针的所述第1触点部的一部分和所述第2触点部的一部分位于外部的状态收纳所述探针，并且将所述可动针和所述导通路径形成构件支承为能够沿着所述长边方向相对移动。

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