申请/专利权人：中国民航大学

申请日：2020-10-31

公开（公告）日：2021-01-19

公开（公告）号：CN112239851A

主分类号：C23C14/30(20060101)

分类号：C23C14/30(20060101);C23C14/16(20060101);C23C14/58(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.03.24#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.02.05#实质审查的生效;2021.01.19#公开

摘要：一种热障涂层中CoCrAlY结合层表面抗氧化层的制备方法。其包括采用铝颗粒作为靶材；利用电子束蒸发镀膜设备对CoCrAlY结合层的表面进行电子束蒸发镀膜形成铝膜；利用强流脉冲电子束设备对表面覆有铝膜的CoCrAlY结合层进行轰击而形成抗氧化层等步骤。本发明提供的热障涂层中CoCrAlY结合层表面抗氧化层的制备方法具有如下优点：本发明在不影响涂层力学性能前提下，通过电子束蒸发镀铝结合电子束轰击重熔处理，通过改变CoCrAlY结合层表面的成分和结构，形成保护性氧化铝膜来抑制脆性热生长氧化物生成的方法，进而可提高CoCrAlY结合层的抗氧化能力。

主权项：1.一种热障涂层中CoCrAlY结合层表面抗氧化层的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括按顺序进行的下列步骤：1采用铝颗粒作为靶材，并置于石墨坩埚内，然后将石墨坩埚连同靶材一起放入电子束蒸发镀膜设备的真空腔室下部；2将已制备好的覆有CoCrAlY结合层的基体放在电子束蒸发镀膜设备的真空腔室上部的样品台上，然后通过机械泵和分子泵抽真空的方式使真空腔室的真空度达到5×10-5Pa；3打开电子枪灯丝电源，先进行预热，并控制电子枪产生的电子束光斑位于石墨坩埚中靶材的中心位置，通过样品台上的旋转装置调节电子束光斑与CoCrAlY结合层表面之间的蒸镀距离，然后在设定的工艺参数下开始对CoCrAlY结合层的表面进行电子束蒸发镀膜，蒸发镀膜结束后将在CoCrAlY结合层的表面形成一层铝膜，之后取出覆有铝膜及CoCrAlY结合层的基体；4将覆有铝膜及CoCrAlY结合层的基体放置在强流脉冲电子束设备内的样品台上，通过机械泵、分子泵抽真空，然后在设定的工艺参数下，利用强流脉冲电子束设备对上述表面覆有铝膜的CoCrAlY结合层进行多次轰击进行表面重熔处理，由此在CoCrAlY结合层的表面形成抗氧化层，从而提高热障涂层的抗氧化能力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国民航大学 一种热障涂层中CoCrAlY结合层表面抗氧化层的制备方法

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