申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-06-19

公开（公告）日：2021-02-12

公开（公告）号：CN112368404A

主分类号：C22B9/02(20060101)

分类号：C22B9/02(20060101);C22B26/12(20060101)

优先权：["20180629 US 62/692,225"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.05#实质审查的生效;2021.02.12#公开

摘要：提供了用于生产和递送高纯度的锂金属的方法和系统。尤其是，提供了用于锂金属纯化、递送和沉积的方法和系统。在至少一个方面中，提供了一种液态锂递送系统。所述液态锂递送系统包括液态锂递送模块。所述液态锂递送系统包括：锂存储区域，所述锂存储区域可操作以储存液态锂；泵送区域，所述泵送区域可操作以移动液态锂通过所述锂递送模块；和流控制区域。所述泵送区域包括电磁泵，所述电磁泵可操作以使用电磁来移动所述液态锂。可操作以控制液态锂的流量的所述流控制区域包括一个或多个阀，所述一个或多个阀可操作以控制所述液态锂的所述流量，其中所述泵送区域定位在所述锂存储区域下游和所述流控制区域上游。

主权项：1.一种液态锂递送系统，包括：液态锂递送模块，所述液态锂递送模块包括：锂存储区域，所述锂存储区域可操作以储存液态锂；泵送区域，所述泵送区域可操作以移动液态锂通过所述液态锂递送模块，所述泵送区域包括：电磁泵，所述电磁泵可操作以使用电磁来移动所述液态锂；和流控制区域，所述流控制区域可操作以控制液态锂的流量，所述流控制区域包括一个或多个阀，所述一个或多个阀可操作以控制所述液态锂的所述流量，其中所述泵送区域定位在所述锂存储区域下游和所述流控制区域上游。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 液态锂供应和调节

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