申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司

申请日：2020-11-24

公开（公告）日：2021-02-12

公开（公告）号：CN112365181A

主分类号：G06Q10/06(20120101)

分类号：G06Q10/06(20120101);G06Q50/04(20120101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.03.05#实质审查的生效;2021.02.12#公开

摘要：本发明提供一种动态工艺流程的QtimeWIP管控方法，获取静态工艺流程的数据；获取动态工艺流程的数据；包括：依据各lot获取其对应的runcard信息；提供EPR信息；依据异常处理流程信息与EPR信息对异常处理流程步骤作业顺序进行编码；判定静态工艺流程越过的步骤；给定各lot未来的工艺流程，各lot未来的工艺流程为获取的动态工艺流程的数据；将静态工艺流程的数据和动态工艺流程的数据进行整合，进行顺序编码并排序得到各lot的真实工艺流程信息以及该真实工艺流程的Qtime信息；QZone模型计算，判断处于Qtime起始站点的Lot能否派工。实现动态工艺流程Qtime的管控，判断Lot在Qtime起始站点是否可派工，降低了有Qtime的lot进入动态工艺流程后超Qtime的风险，从而提高晶圆质量和工艺性能。

主权项：1.一种动态工艺流程的QtimeWIP管控方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：步骤一、获取静态工艺流程的数据；步骤二、获取动态工艺流程的数据；所述动态流程的数据获取方法包括：1依据各lot获取其对应的异常处理流程信息；提供设备工艺关系信息；2依据所述异常处理流程信息与设备工艺关系信息对异常处理流程步骤作业顺序进行编码；3判定静态工艺流程越过的步骤；4给定各lot未来的工艺流程，所述各lot未来的工艺流程为获取的所述动态工艺流程的数据；步骤三、将所述静态工艺流程的数据和所述动态工艺流程的数据进行整合，按照步骤顺序进行顺序编码并排序，得到各lot的真实工艺流程信息以及该真实工艺流程的Qtime信息；步骤四、QZone模型计算，判断处于Qtime起始站点的Lot能否派工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 一种动态工艺流程的Qtime WIP管控方法

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