申请/专利权人：伊鲁米纳公司

申请日：2018-12-11

公开（公告）日：2021-02-23

公开（公告）号：CN111094622B

主分类号：C23C18/16(20060101)

分类号：C23C18/16(20060101);C23C6/00(20060101)

优先权：["20171222 US 62/609,856"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.23#授权;2020.05.29#实质审查的生效;2020.05.01#公开

摘要：在一个实例中提供的是具有至少一个裂缝的传感器，所述裂缝被钝化层内垂直延伸的至少一个聚合物形成物至少部分地填充。所述聚合物形成物保护下方的含金属层免受腐蚀性溶液。在另一个实例中提供的是在传感器的裂缝中形成所述聚合物形成物的方法。

主权项：1.一种方法，其包括：使传感器的钝化层中的至少一个裂缝钝化，所述传感器包括含金属层、设置在所述含金属层上方的所述钝化层、和在所述钝化层的顶部活性表面上方形成流动通道的结构，所述结构的顶部部分包括电极，其中所述钝化包括：将包含聚合物前体和电解质的水溶液施加至所述结构的流动通道；向所述传感器的所述含金属层施加第一电压；向所述电极施加第二电压，所述第二电压是具有与所述第一电压相反极性的电压；和形成从所述至少一个裂缝处的所述含金属层向上延伸到所述钝化层的顶表面的聚合物形成物。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 伊鲁米纳公司 基质中的裂缝钝化

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