申请/专利权人：芯米(厦门)半导体设备有限公司

申请日：2020-04-07

公开（公告）日：2021-02-26

公开（公告）号：CN212596833U

主分类号：B05C11/10(20060101)

分类号：B05C11/10(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.26#授权

摘要：一种光阻喷吐系统，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。所述光阻喷吐系统运行平稳，可靠性高。

主权项：1.一种光阻喷吐系统，其特征在于，包括：步进电机，所述步进电机具有电机转轴；编码器，所述编码器设置在所述电机转轴周边；驱动轮，所述驱动轮套设在所述电机转轴上；第一光阻泵，所述第一光阻泵具有第一外壳和第一内隔膜，所述第一外壳具有第一输入口、第一输出口和第一侧开口，所述第一内隔膜内衬在所述第一外壳里面，所述第一输入口和所述第一输出口之间通过所述第一内隔膜连通；升降螺杆，所述升降螺杆的第一端用于通过所述第一侧开口向所述第一内隔膜进行推压和松放操作；从动轮，所述从动轮套设在所述升降螺杆上；传动带，所述驱动轮通过所述传动带带动所述从动轮。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯米(厦门)半导体设备有限公司 光阻喷吐系统

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