申请/专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司

申请日：2023-02-28

公开（公告）日：2023-09-19

公开（公告）号：CN219714510U

主分类号：G01G17/04

分类号：G01G17/04;G01F19/00;G03F7/004;G03F7/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.19#授权

摘要：本申请公开了一种光刻胶溶剂喷吐量称量装置，该光刻胶溶剂喷吐量称量装置包括喷嘴组件、收集组件和称量组件，所述喷嘴组件包括至少一个喷嘴；所述收集组件包括至少一个溶剂收集管，所述溶剂收集管与所述喷嘴相对设置；所述称量组件包括至少一个称量工具，所述称量工具插装于所述溶剂收集管内，所述称量工具朝向所述喷嘴的一侧具有容纳腔，所述容纳腔侧壁设置有连通所述容纳腔的导管。本方案可以测量出光刻胶溶剂的实际喷吐量。

主权项：1.一种光刻胶溶剂喷吐量称量装置，其特征在于，包括：喷嘴组件，所述喷嘴组件包括至少一个喷嘴；收集组件，所述收集组件包括至少一个溶剂收集管，所述溶剂收集管与所述喷嘴相对设置；称量组件，所述称量组件包括至少一个称量工具，所述称量工具插装于所述溶剂收集管内，所述称量工具朝向所述喷嘴的一侧具有容纳腔，所述称量工具侧壁设置有连通所述容纳腔的导管。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 粤芯半导体技术股份有限公司 光刻胶溶剂喷吐量称量装置

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