申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2020-12-25

公开（公告）日：2021-03-30

公开（公告）号：CN112575289A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.04.16#实质审查的生效;2021.03.30#公开

摘要：本发明公开了一种FMM精细金属掩膜板，包括掩膜版，所述掩膜版包括蒸镀像素格和减重槽；所述减重槽位于所述掩膜版除所述蒸镀像素格之外的位置上。即本发明通过在掩膜版上设置减重槽，降低掩膜版的自身重量，从而减少掩膜版的下垂量，达到改善蒸镀良率及蒸镀品质的目的。

主权项：1.一种FMM精细金属掩膜板，其特征在于，包括掩膜版，所述掩膜版包括蒸镀像素格和减重槽；所述减重槽位于所述掩膜版除所述蒸镀像素格之外的位置上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种FMM精细金属掩膜板

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