申请/专利权人:同济大学
申请日:2020-12-23
公开(公告)日:2021-04-13
公开(公告)号:CN112650179A
主分类号:G05B19/418(20060101)
分类号:G05B19/418(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.05.27#授权;2021.04.30#实质审查的生效;2021.04.13#公开
摘要:本发明涉及一种半导体制造系统调度的自组织调度方法包括S1:设置自组织单元的角色和参数,定义生产环境中的关键节点;S2:构建自组织单元之间的协商机制,设计决策和调度主体ESOU单元;S3:根据ESOU单元的决策指令,设计LSOU分配调度单元,负责区分单批处理和多批处理;S4:设计基于自组织单元的调度机制,来实现动态的半导体调度。本发明包括三个方面:自组织单元的角色定义,自组织单元之间的协商机制及其决策方法。基于真实行业基准生产线的模拟表明,该方法在工作移动,吞吐量和按时交付率方面提升了4.9%,9.06%和20.23%。
主权项:1.一种半导体制造系统的动态调度方法,其特征在于,包括以下步骤,设置半导体制造系统中的自组织单元的角色和参数,定义生产环境中的关键节点;构建自组织单元之间的协商机制,设计决策和调度主体ESOU单元;根据ESOU单元的决策指令,设计LSOU分配调度单元,负责区分单批处理和多批处理;设计基于自组织单元的调度机制,实现动态的半导体调度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 同济大学 半导体制造系统的动态调度方法
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