申请/专利权人：苏州雨竹机电有限公司

申请日：2020-10-26

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN213388889U

主分类号：C23C16/455(20060101)

分类号：C23C16/455(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权

摘要：本实用新型提供一种气相沉积气体喷头，气相沉积气体喷头包含一管路总成以及一喷嘴，喷嘴衔接于管路总成以对外喷散管路总成所供应的气体，此气体包含有机金属气体及载气，喷嘴具有至少一个气栅，气栅具有复数个矩形气孔；实施时，矩形气孔的最佳宽度为2毫米mm、最佳高度为2.5mm，借此以使喷嘴能将气体均匀稳定的喷出，并避免矩形气孔遭到阻塞而影响气体流量。

主权项：1.一种气相沉积气体喷头，其特征在于，包含：一管路总成；以及一喷嘴，该喷嘴衔接于该管路总成以喷散该管路总成所供应的气体，该喷嘴具有至少一个气栅，该至少一个气栅具有多个矩形气孔，该多个矩形气孔的每一个矩形气孔的宽度为1.8毫米以上，且该多个矩形气孔的每一个矩形气孔的高度为1.8毫米以上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州雨竹机电有限公司 气相沉积气体喷头

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