申请/专利权人：大连理工大学;国网安徽省电力有限公司电力科学研究院

申请日：2021-03-17

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113125350A

主分类号：G01N21/17(20060101)

分类号：G01N21/17(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态：2022.05.27#发明专利申请公布后的撤回;2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明公开一种可同时感测氢气浓度和光声信号的微音器及感测方法，只采用一个可同时感测氢气和光声信号的微音器结合光谱仪等，即可实现包括氢气在内的变压器油中溶解故障特征气体的多组份、高灵敏度检测；基于快速傅里叶变换和Buneman频率估计的白光干涉解调算法可以实现光纤法布里‑珀罗干涉腔绝对腔长的快速解调，通过动态腔长变化量得到光声信号的幅值从而反演计算出待测CO、CO2及烃类气体浓度，通过对绝对腔长的动态平均可得到的悬臂梁平衡位置（静态）的腔长变化量，从而反演出氢气浓度，具有结构简单、本质安全、灵敏度高及响应速度快等优点。

主权项：1.一种可同时感测氢气和光声信号的微音器，有壳体（1-3），在壳体（1-3）内有固定单模光纤（1-4）的光纤陶瓷插针（1-2）及悬臂梁（1-1），所述悬臂梁（1-1）位于光纤陶瓷插针（1-2）的上方且与光纤陶瓷插针（1-2）末端的光纤平端面构成F-P腔，所述悬臂梁（1-1）是一端固定的矩形悬臂结构，其特征在于：所述悬臂梁（1-1）由单晶硅层（1-1-1）、镀于单晶硅层（1-1-1）上表面的钯钯合金层（1-1-2）和镀于单晶硅层（1-1-1）下表面的金层（1-1-3）构成，所述单晶硅层（1-1-1）的厚度为5~20μm，所述钯钯合金层（1-1-2）的厚度为0.1~1μm，所述金层（1-1-3）的厚度为30~100nm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连理工大学;国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 一种可同时感测氢气浓度和光声信号的微音器及感测方法

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