申请/专利权人:福州弘星光电技术有限公司
申请日:2021-03-10
公开(公告)日:2021-11-19
公开(公告)号:CN214782094U
主分类号:C23C14/22(20060101)
分类号:C23C14/22(20060101);C23C16/44(20060101);G02B1/10(20150101);B08B15/04(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.11.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种光学镀膜用废气引射装置,包括镀膜平台,所述镀膜平台的底部固定连接有多个支撑脚,所述镀膜平台的一侧固定连接有安装块,所述安装块的外壁上固定连接有电机,所述安装块内设有空腔,所述电机的输出端固定连接有蜗杆,所述蜗杆的一端贯穿安装块的外壁并向空腔内延伸,所述空腔内转动连接有螺杆,所述螺杆上固定套接有与蜗杆相啮合的蜗轮,所述螺杆的顶部贯穿空腔的内壁并螺纹套接有螺纹套,所述螺纹套的顶部通过转轴转动连接有安装板,所述螺纹套的底部与安装板通过对称设置的两个伸缩气缸连接。本实用新型中通过调节机构的设置,使装置可以根据实际的安装环境进行自由的调节,从而提升了装置的使用便捷性。
主权项:1.一种光学镀膜用废气引射装置,包括镀膜平台(1),其特征在于:所述镀膜平台(1)的底部固定连接有多个支撑脚(2),所述镀膜平台(1)的一侧固定连接有安装块(3),所述安装块(3)的外壁上固定连接有电机(4),所述安装块(3)内设有空腔,所述电机(4)的输出端固定连接有蜗杆(5),所述蜗杆(5)的一端贯穿安装块(3)的外壁并向空腔内延伸,所述空腔内转动连接有螺杆(6),所述螺杆(6)上固定套接有与蜗杆(5)相啮合的蜗轮(7),所述螺杆(6)的顶部贯穿空腔的内壁并螺纹套接有螺纹套(8),所述螺纹套(8)的顶部通过转轴(9)转动连接有安装板(10),所述螺纹套(8)的底部与安装板(10)通过对称设置的两个伸缩气缸(11)连接,两个所述伸缩气缸(11)的两端分别与安装板(10)和螺纹套(8)转动连接,所述安装板(10)的顶部固定连接有集尘箱(20),所述集尘箱(20)的内侧壁上固定插设有多个引气管(12),所述引气管(12)的底部贯穿安装板(10)并固定套接有导流罩(13),所述引气管(12)的顶部螺纹套接有自吸泵(14)。
全文数据:
权利要求:
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