申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所

申请日：2020-07-22

公开（公告）日：2022-01-25

公开（公告）号：CN113970591A

主分类号：G01N27/64(20060101)

分类号：G01N27/64(20060101);H01J49/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.25#公开

摘要：本发明提供一种基于超高真空设备的可联用TPD系统及使用方法。本发明包括程序升温脱附仪和靠近于所述程序升温脱附仪样品架的质谱系统，所述程序升温脱附仪包括样品插杆、样品台和所述样品架，所述样品插杆的中段通过法兰口与真空腔体密封固定连接，所述样品插杆为中空结构，所述样品台设置于其中，所述样品架设置于样品台中，所述样品台和样品架用于为样品控温，所述样品台与样品插杆底部绝缘导热连接，所述样品插杆的顶端连接有液氮进入管，所述样品插杆的侧壁连接有液氮排出管，所述液氮排出管与外接机械泵相连。本发明能够快速降温，通过机械泵抽气的方式来方便地移除冷阱的剩余的液氮，加速降温速率。

主权项：1.一种基于超高真空设备的可联用TPD系统，其特征在于，包括程序升温脱附仪和靠近于所述程序升温脱附仪样品架的质谱系统，所述程序升温脱附仪包括样品插杆、样品台和所述样品架，所述样品插杆的中段通过法兰口与真空腔体密封固定连接，所述样品插杆为中空结构，所述样品台设置于其中，所述样品架设置于样品台中，所述样品台和样品架用于为样品控温，所述样品台与样品插杆底部绝缘导热连接，所述样品插杆的顶端连接有液氮进入管，所述样品插杆的侧壁连接有液氮排出管，所述液氮排出管与外接机械泵相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 一种基于超高真空设备的可联用TPD系统及使用方法

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