【发明公布】供晶装置_深圳新益昌科技股份有限公司_202210441059.9 

申请/专利权人:深圳新益昌科技股份有限公司

申请日:2022-04-25

公开(公告)日:2022-08-12

公开(公告)号:CN114899133A

主分类号:H01L21/677

分类号:H01L21/677

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.08.12#公开

摘要:本申请属于固晶技术领域,提供了一种供晶装置,包括:上料机构、取料机构、载移机构、拾取机构、中转机构及供晶位机构;上料机构包括晶环盒,晶环盒用于放置晶环;取料机构用于从晶环盒中取出晶环;载移机构用于承载晶环并带动晶环移动;拾取机构用于拾取载移机构移送过来的晶环;中转机构用于承载载移机构运输出来的晶环;供晶位机构用于承载拾取机构拾取过来的晶环。取料机构、载移机构、拾取机构和中转机构配合可连续运输晶环,供晶位机构上的晶环使用完毕,拾取机构可快速拾取下一个晶环放置于供晶位机构,实现同时移送满晶环与空晶环,无需从上料机构至供晶位机构之间往复运动运输晶环,减去了供料等待时间,提高了工作效率。

主权项:1.一种供晶装置,其特征在于:包括:上料机构,所述上料机构包括晶环盒,所述晶环盒用于放置晶环;取料机构,用于从所述晶环盒中取出所述晶环;载移机构,用于承载并移送所述取料机构取出的所述晶环;拾取机构,用于拾取所述载移机构载移过来的所述晶环;中转机构,用于承载所述载移机构运输出来的晶环;以及供晶位机构,用于承载所述拾取机构拾取过来的晶环,以供后序取用所述晶环中的晶片。

全文数据:

权利要求:

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