申请/专利权人：华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司

申请日：2024-02-07

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN117943332A

主分类号：B08B3/02

分类号：B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;B25B11/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.17#实质审查的生效;2024.04.30#公开

摘要：本申请实施例提供了一种晶圆水平清洗装置，包括夹持盘、动力组件和背喷组件，夹持盘用于水平夹持晶圆，夹持盘的中心区域开设有清洗孔；动力组件位于夹持盘的下方，动力组件的输出轴的端部穿设于清洗孔，输出轴为中空管件且与清洗孔连通；背喷组件设置于输出轴的内部，背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，背喷组件的外周面与输出轴的内壁面之间具有第一间隙，第一间隙与清洗孔连通，以将清洗废液经由第一间隙排出。根据本发明实施例的一种晶圆水平清洗装置，可以将废液通过第一间隙及时排出，有效的防止废液腐蚀其它结构件，并且可以防止废液堆积导致晶圆背面有液珠凝聚，影响工艺效果。

主权项：1.一种晶圆水平清洗装置，其特征在于，包括：夹持盘，用于水平夹持晶圆，其中心区域开设有清洗孔；动力组件，位于所述夹持盘的下方，所述动力组件的输出轴的端部穿设于所述清洗孔，所述输出轴为中空管件且与所述清洗孔连通；背喷组件，设置于所述输出轴的内部，所述背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，所述背喷组件的外周面与所述输出轴的内壁面之间具有第一间隙，所述第一间隙与所述清洗孔连通，以将清洗废液经由所述第一间隙排出；其中，所述输出轴为耐腐蚀材料制成的输出轴。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司 晶圆水平清洗装置

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