申请/专利权人：荣耀电子材料(重庆)有限公司

申请日：2023-07-05

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN220931523U

主分类号：F26B5/08

分类号：F26B5/08;F26B11/18;F26B21/00;F26B25/00;F26B25/18;F26B25/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.10#授权

摘要：本实用新型提供晶圆传送盒用干燥装置，涉及晶圆生产技术领域，包括底座，所述底座上表面两端分别固定连接有驱动机构和支撑架，所述驱动机构一端设置有预处理机构，所述支撑架上设置有干燥机构，干燥之前，通过第一电机驱动预处理机构至传送盒内部，随后通过第二电机带动第一链轮转动，通过链条带动第二链轮同步转动，从而带动转轴转动，从而带动清理盘和清理板转动，清理盘表面、外周面以及清理板上均设置有吸水毛刷，毛刷在离心力的作用下向外散开，对晶圆传送盒内壁上的水分进行吸收，从而能够大大减少传送盒内部的水分，缩短后续干燥时间，避免传送盒温度过高导致人员下料时烫伤。

主权项：1.晶圆传送盒用干燥装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1上表面两端分别固定连接有驱动机构2和支撑架4，所述驱动机构2一端设置有预处理机构3，所述支撑架4上设置有干燥机构5，所述干燥机构5包括气缸501，所述气缸501固定安装在支撑架4顶端，所述气缸501的输出端贯穿支撑架4且固定连接有固定架505，所述固定架505上表面两端分别固定连接有导向杆504，所述导向杆504与支撑架4滑动连接，所述固定架505底部固定连接有防护罩502，所述防护罩502一侧固定安装有热风机503，所述防护罩502内部固定连接有若干风管506，每个所述风管506上均设置有若干喷头507，所述热风机503与风管506连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 荣耀电子材料(重庆)有限公司 晶圆传送盒用干燥装置

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