申请/专利权人：无锡富创得智能科技有限公司

申请日：2024-03-26

公开（公告）日：2024-05-10

公开（公告）号：CN118003355A

主分类号：B25J15/00

分类号：B25J15/00;B25J18/02;B25J15/02;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开

摘要：本申请提供了一种用于晶圆搬运的机械臂，包括伸缩臂以及通过第一转动组件独立转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；其中，第一夹爪和第二夹爪的实体线分别通过第一转动组件上的第一走线通道和第二走线通道进入伸缩臂内部，从而避免了第一夹爪和第二夹爪的实体线之间的干扰，以及第二夹爪转动过程中对实体线造成扭转的影响；保证了机械臂的第一夹爪和第二夹爪可以稳定和灵活的自由转动，提高了机械臂的灵活性和可靠性。本申请能够在实现大范围的晶圆搬运的同时，可以同时对不同工位的两块晶圆进行搬运和灵活取放。

主权项：1.一种用于晶圆搬运的机械臂，其特征在于，包括伸缩臂以及转动设置于所述伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；所述第一夹爪和所述第二夹爪通过第一传动组件转动设置于所述伸缩臂末端；所述第一传动组件包括相互套设并转动配合的第一传动轴和第二传动轴，且所述第一传动轴和所述第二传动轴分别与所述第一夹爪和所述第二夹爪固定配合，使得所述第一夹爪和所述第二夹爪具有同一旋转轴且可独立转动；所述第一传动轴内部设置有沿所述第一传动轴的轴线贯通的第一走线通道，所述第一夹爪内的实体线通过所述第一走线通道进入所述伸缩臂内部；所述第二传动轴设置有连通所述第二夹爪内部和所述伸缩臂内部的第二走线通道，所述第二夹爪内的实体线通过所述第二走线通道进入所述伸缩臂内部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡富创得智能科技有限公司 用于晶圆搬运的机械臂

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