申请/专利权人：中国航发北京航空材料研究院

申请日：2022-06-10

公开（公告）日：2022-09-13

公开（公告）号：CN115044883A

主分类号：C23C16/02

分类号：C23C16/02;C23C16/26;C23C16/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.09.30#实质审查的生效;2022.09.13#公开

摘要：本发明涉及SiC纤维表面连续沉积PyC的系统，在一体化设备中，连续SiC纤维束从放丝装置出发，依次通过活化室和沉积室，在活化室内对SiC纤维表面进行活化，在沉积室内对活化后SiC纤维进行PyC沉积，达到在SiC纤维上高效率连续沉积PyC涂层的目的。1本发明能够显著提高SiC纤维表面PyC涂层的沉积效率同等条件下沉积效率增加3～5倍。

主权项：1.SiC纤维表面连续沉积PyC的系统，其特征在于：包括活化室和沉积室；所述活化室的入口通入氩气，所述沉积室的入口通入烃类气体，且所述活化室的出口与沉积室的出口通过流量调节管连通，且所述流量调节管上开口排气口，且流量调节管上对应活化室的出口与沉积室的出口分别设置有限流阀，限流阀的最小开度能够保证SiC纤维通过；所述沉积室用于对SiC纤维表面连续沉积PyC；所述SiC纤维从放丝装置依次通过从活化室、流量调节管、沉积室到达收丝装置；所述活化室设置有电子枪，用于发射电子束，使得电子束与氩气产生Ar+离子；在活化室中沿着SiC纤维输送方向设置多个电磁线圈，所述Ar+离子在电磁线圈的磁场的约束下，Ar+离子在运动中会轰击在SiC纤维表面，使得SiC纤维表面的原子被轰击离开后留下空位，破坏SiC晶体的完整度；所述空位为PyC沉积提供活性点。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国航发北京航空材料研究院 SiC纤维表面连续沉积PyC的系统

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