申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司

申请日：2022-06-22

公开（公告）日：2022-09-16

公开（公告）号：CN115058694A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C22C14/00;C22C16/00;C22C21/00;C22C30/00;B22F3/15;B22F3/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.04#实质审查的生效;2022.09.16#公开

摘要：本申请涉及粉末冶金技术领域，公开了一种TiAlZr靶材及其制备方法。该方法通过选择一定比例的TiZr合金粉、Al粉或者TiZr合金粉、Ti粉及Al粉作为预合金粉末，然后将粉末装入包套中经过脱气、HIP来制备TiAlZr合金靶材。本申请的制备方法可获得相对密度＞99％，晶粒尺寸均的靶材，且可有效解决含Zr粉末冶金靶材在制备过程中Zr易燃易爆的危险性问题。

主权项：1.一种TiAlZr靶材的制备方法，其特征在于，采用粉末冶金工艺制备，其中所述TiAlZr靶材中的Zr元素以TiZr合金粉末作为原料加入，Al元素以Al粉作为原料加入，Ti元素以Ti粉作为原料加入。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种TiAlZr靶材及其制备方法

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