申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

申请日：2022-05-25

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115097468A

主分类号：G01S17/08

分类号：G01S17/08;G01B11/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明公开了转载一组硅片的梳齿式吸盘装配精度的检测校准方法，解决了如何对每个吸盘片上的三个真空吸附陶瓷吸嘴的装配精度进行检验校准的难题；设计一个可承载移动梳齿式吸盘的测试工装架体，在该架体上设置有可精确控制水平位移丝杠模组和上下垂直位移的模组，真实模拟梳齿式吸盘传送硅片进入石墨舟的场景，将一片硅片依次吸附在梳齿式吸盘中的每片吸盘片上，通过三个激光测距仪，对其位置进行测定，根据测量结果，判断该吸盘片装配位置的精度是否达到要求，并对其进行调整；通过控制水平位移丝杠模组的向左和向右移动，真实模拟硅片挂接过程，测量硅片在此过程中的位移，来检测三个吸嘴安装精度是否符合设计要求，并及时进行调整和校准。

主权项：1.一种转载一组硅片的梳齿式吸盘装配精度的检测校准方法，包括长方形底座框架（1）和梳齿式吸盘（16），在梳齿式吸盘（16）的顶端板下底面上设置有梳齿状凹槽，在梳齿状凹槽中吊接有吸盘片，在吸盘片上分别设置有后吸嘴（17）、下吸嘴（19）和前吸嘴（18），在长方形底座框架（1）上，设置有左右方向上的水平丝杠安装架（2），在水平丝杠安装架（2）上，设置有水平丝杠模组（3），在水平丝杠模组（3）的滑块（4）上，设置有垂直立柱，在垂直立柱上设置有可上下调整移动的横梁（6），在横梁（6）上吊接有梳齿式吸盘（16），在长方形底座框架（1）左端，分别设置有后激光测距仪安装立柱（8）、中激光测距仪安装立柱（9）和前激光测距仪安装立柱（10），在后激光测距仪安装立柱（8）上设置有后激光测距仪（11），在中激光测距仪安装立柱（9）设置有中下激光测距仪（12），在前激光测距仪安装立柱（10）上设置有前激光测距仪（13），三个激光测距仪是面向硅片（20）设置的，其特征在于以下步骤：第一步、接通梳齿式吸盘（16）中最左侧吸盘片上的后吸嘴（17）、下吸嘴（19）和前吸嘴（18）的真空吸附管路，将硅片（20）吸附到三个吸嘴上；第二步、启动后激光测距仪（11），读取硅片（20）后端立面与后激光测距仪（11）的后初始距离；启动中下激光测距仪（12），读取硅片（20）中端立面与中下激光测距仪（12）的中初始距离；启动前激光测距仪（13），读取硅片（20）前端立面与前激光测距仪（13）之间的前初始距离；第三步、根据梳齿式吸盘（16）在吸附一组硅片，并将硅片插入到石墨舟中相邻两石墨板之间后，向左移动将硅片挂接在石墨板侧立面挂点时所移动的间距，通过控制水平丝杠模组（3）中的丝杠控制伺服电机（5），使其向左移动该间距后，再分别读取硅片（20）后端立面与后激光测距仪（11）的后二次距离，读取硅片（20）中端立面与中下激光测距仪（12）的中二次距离，读取硅片（20）前端立面与前激光测距仪（13）之间的前二次距离；第四步、将第三步获得的数据与第二步获得的数据进行比较，得到硅片（20）三点处向左移动距离，根据三点处向左移动距离，可判断出硅片（20）所吸附的梳齿式吸盘（16）中最左侧的吸盘片的安装位置误差，以及三个吸嘴的安装误差，是否在允许范围内，若超过允许范围，则对吸盘片，以及三个吸嘴的安装位置进行调整；第五步、将硅片（20）吸附在梳齿式吸盘（16）中从左向右数的第二个吸盘片上，重复第二到第四步的步骤，判断出齿式吸盘（16）中从左向右数的第二个吸盘片的安装位置误差，以及其三个吸嘴的安装误差，并作相应的调整；如此反复，完成梳齿式吸盘（16）中全部吸盘片的校准工作。

全文数据：

权利要求：

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