申请/专利权人：山东大学

申请日：2021-04-30

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN113410378B

主分类号：H01L41/333

分类号：H01L41/333;H01L41/335;H01L41/187;C30B33/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.25#授权;2021.10.08#实质审查的生效;2021.09.17#公开

摘要：本发明涉及一种利用纳米压痕提高压电材料压电系数的方法，该方法对压电晶体施加载荷外力，使压电晶体表面获得周期性纳米级图形化压痕结构，大大提高了压电晶体的压电系数，由17pCN提高到44pCN，采用的用纳米压痕技术直接在压电晶体表面制备大面积周期性纳米压痕结构，成本低，操作简便，并且无需昂贵的设备。

主权项：1.一种利用纳米压痕提高压电晶体压电系数的方法，所述的方法包括步骤如下：对压电晶体施加载荷外力，使压电晶体表面获得周期性纳米级图形化压痕结构，以提高压电晶体的压电系数；所述的压电晶体为LiNbO3晶体、ZnO晶体或BaTiO3晶体；周期性纳米级图形化压痕结构按照以下方式之一获得：a、使用凸起的图案化衬底作为模板，在液压压片机中通过凸起的图案化衬底与压电晶体施加载荷外力，使凸起的图案化衬底上凸起的图案作为压头压入压电晶体表面，从而在压电晶体表面获得周期性的纳米级图形化压痕结构；凸起的图案化衬底为纳米级图形化的蓝宝石衬底；施加的载荷外力载荷为0.5-1MPa，加载时间为8-12s；b、纳米压痕仪的压针以一定的载荷外力，压入压电晶体内，加载一定时间，纳米压痕仪的压针的载荷外力为5-8gf，压针压入压电晶体的深度为300-450nm，保载时间为0.5-1.5s；然后卸载，获得塑性变形的孔洞，不断重复加载卸载，使压孔洞以间隔排列，最终获得周期性的纳米级图形化压痕结构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东大学 一种利用纳米压痕提高压电材料压电系数的方法

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