申请/专利权人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司

申请日：2022-06-22

公开（公告）日：2022-11-29

公开（公告）号：CN217922422U

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.29#授权

摘要：本实用新型公开了一种电动取棒工装，包括：主体支架；支撑板，支撑板的中心开设有容许晶棒底部的锥体部通过的中心孔，支撑板垂直固定于支架的下部；抱夹机构，抱夹机构包括两个对称设置的左夹爪和右夹爪，抱夹机构与支架水平滑移配合；驱动机构，驱动机构包括动力组件、一体式左右旋丝杠和连接组件，动力组件与一体式左右旋丝杠连接，一体式左右旋丝杠与抱夹机构平行设置，一体式左右旋丝杠包括左旋丝杠和右旋丝杠，左旋丝杠的端部通过一个连接组件与左夹爪连接，右旋丝杠的端部通过一个连接组件与右夹爪连接。实用新型的电动取棒工装，工作效率高，直流驱动，能耗低，结构紧凑，维护简单，能够消除取棒过程中对副炉室的干涉。

主权项：1.一种电动取棒工装，其特征在于，包括：主体支架；支撑板，所述支撑板的中心开设有容许晶棒底部的锥体部通过的中心孔，所述支撑板垂直固定于所述支架的下部；抱夹机构，所述抱夹机构包括两个对称设置的左夹爪和右夹爪，所述抱夹机构与所述主体支架水平滑移配合；驱动机构，用于驱动抱夹机构同步相向或背向运动以使抱夹机构抱紧或打开，所述驱动机构包括动力组件、一体式左右旋丝杠和连接组件，所述动力组件与一体式左右旋丝杠连接，所述一体式左右旋丝杠与所述抱夹机构平行设置，所述一体式左右旋丝杠包括左旋丝杠和右旋丝杠，所述左旋丝杠的端部通过一个所述连接组件与所述左夹爪连接，所述右旋丝杠的端部通过一个所述连接组件与所述右夹爪连接。

全文数据：

权利要求：

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