申请/专利权人：核工业西南物理研究院

申请日：2022-09-08

公开（公告）日：2022-12-30

公开（公告）号：CN115537749A

主分类号：C23C14/48

分类号：C23C14/48;C23C14/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.20#实质审查的生效;2022.12.30#公开

摘要：本发明属于离子注入工艺装备技术领域，具体涉及一种用于连续人工磁通钉扎制备的离子辐照装置，包括：放卷传动装置、离子注入传动装置、收卷传动装置、沉积YBCO超导层金属带材、离子注入真空室、离子源、真空抽气口、放卷室真空室和收卷室真空室；所述离子注入真空室的两侧分别连通放卷室真空室和收卷室真空室；本发明设能够实现动态粒子辐照百米级二代高温超导带材，且可控制注入的离子种类、能量、剂量和注入角度，进而达到可控磁通钉扎浓度、深度、分布及均匀性等；同时注入气体离子和金属离子，还可达到掺杂和缺陷引入的双重效果，具有独特的优势，满足工业化生产的需要。

主权项：1.一种用于连续人工磁通钉扎制备的离子辐照装置，其特征在于，包括：放卷传动装置1、离子注入传动装置2、收卷传动装置3、沉积YBCO超导层金属带材4、离子注入真空室5、离子源、真空抽气口8、放卷室真空室9和收卷室真空室10；所述离子注入真空室5的两侧分别连通放卷室真空室9和收卷室真空室10；所放卷室真空室9内设置有放卷传动装置1，收卷室真空室10内设置有收卷传动装置3，所述离子注入真空室5内设置有离子注入传动装置2；所述离子注入真空室5顶端设置有离子源，离子注入真空室5底端连接有真空抽气口8；所述放卷传动装置1上负载待离子注入的沉积YBCO超导层金属带材4，所述沉积YBCO超导层金属带材4通过离子注入传动装置2传动至收卷传动装置3内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 核工业西南物理研究院 一种用于连续人工磁通钉扎制备的离子辐照装置

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