申请/专利权人：苏州闻道电子科技有限公司

申请日：2020-12-31

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN112820439B

主分类号：G21K1/10

分类号：G21K1/10;C23C14/06;C23C14/12;C23C14/20;C23C14/24;C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.06#授权;2021.06.04#实质审查的生效;2021.05.18#公开

摘要：本发明提供了一种用于X射线与软X射线能段的滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明中含有Sc层的滤片透射率在K吸收边0.276nmE＝4500eV和L吸收边2.48nmE＝500eV前后有非常明显的对比。由于B的吸收边在190eV，本发明提供的滤片在0.276nm～0.31nm4000～4500eV和2.48nm～6.53nm190～500eV范围内可以有效地对高次谐波进行抑制。本发明提供的滤片的制备方法，本发明先刻蚀硅片再镀膜，得到的滤片的品质高，无砂眼现象。实施例的数据表明，本发明制得的ScB4C滤片或自支撑ScB4C滤片含有聚酰亚胺膜，均观察不到砂眼。

主权项：1.一种用于X射线与软X射线波段的滤片，其特征在于，具体为依次交替层叠设置的Sc层和B4C层；每层Sc层的厚度为200～300nm，每层B4C层的厚度为20～40nm。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州闻道电子科技有限公司 一种用于X射线与软X射线波段的滤片及其制备方法

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