申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司

申请日：2022-10-28

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN218610688U

主分类号：B08B3/06

分类号：B08B3/06;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权

摘要：本申请涉及一种清洗槽及清洗设备。清洗槽包括槽体、分别设于槽体内的固定板和定位件以及紧固件，固定板上设有沿第一方向延伸的通孔，定位件用于定位晶圆载具，定位件朝向固定板的一侧设有用于穿设于通孔的连接件，连接件包括凸伸出通孔的抵接部，抵接部能够沿第一方向抵接于固定板背离定位件的一侧，连接件设有抵接部的一端的端面沿第一方向向连接件内凹陷形成第一安装孔，紧固件穿设于第一安装孔，以使连接件过盈配合于通孔内。上述清洗槽，设置紧固件，以为连接件提供沿第一安装孔的径向的支撑力，防止连接件在与第一方向垂直的方向上发生松动，通过设置抵接部，防止连接件沿第一方向脱出通孔，因此提高了晶圆载具在清洗槽内的定位精度。

主权项：1.一种清洗槽，用于清洗晶圆载具内的晶圆，其特征在于，所述清洗槽包括：槽体；分别设于所述槽体内且沿第一方向层叠设置的固定板和定位件，所述固定板上设有沿所述第一方向延伸的通孔，所述定位件用于定位所述晶圆载具，且所述定位件朝向所述固定板的一侧设有用于穿设于所述通孔的连接件，所述连接件包括凸伸出所述通孔的抵接部，所述抵接部被配置为能够沿所述第一方向抵接于所述固定板背离所述定位件的一侧，所述连接件设有所述抵接部的一端的端面沿所述第一方向向所述连接件内凹陷形成第一安装孔；以及紧固件，穿设于所述第一安装孔，以使所述连接件过盈配合于所述通孔内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海积塔半导体有限公司 清洗槽及清洗设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD