申请/专利权人:富士胶片电子材料美国有限公司
申请日:2022-08-26
公开(公告)日:2023-05-26
公开(公告)号:CN116171309A
主分类号:C09G1/04
分类号:C09G1/04
优先权:["20210901 US 63/239,657"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2023.05.26#公开
摘要:本公开内容提供了抛光组合物,其包含至少一种第一胺、至少一种第二胺以及其他组分,诸如唑。该第一胺具有低分子量,例如120gmol或更低。该第二胺具有高分子量,例如125gmol或更高。该组合物可以以高铜对钼的选择性来抛光包含铜和钼或者每一者的合金的基底。
主权项:1.一种抛光组合物,包含:至少一种磨料;至少一种唑化合物;至少一种第一胺化合物,所述至少一种第一胺化合物包括氨基酸,其具有至多120gmol的分子量;至少一种第二胺化合物,其具有至少125gmol的分子量;以及水性溶剂。
全文数据:
权利要求:
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